第二章透射电镜的结构与成像原理.pptVIP

透射电镜一般是电子光学系统、真空系统和电源与控制系统三大部分组成。电子光学系统通常称为镜筒，是透射电子显微镜的核心，它又可以分为照明系统、成像系统和观察记录系统。 场发射枪 不同电子枪性能的比较 为了减小物镜的球差和提高像的衬度，在物镜后焦面上可安放一个孔径可调的物镜光阑（最小孔径可以做到5微米），物镜光阑的另一作用是进行暗场及衍衬成像操作。 在新的电镜中，物镜皆由两部分组成，分为上物镜和下物镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用。 2.1.2.3 投影镜 成像系统成像模式操作——三种放大倍数范围 2.1.3 观察记录系统 2.2 真空系统 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分，二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 电压的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。加速电压和透镜电流的不稳定将使电子光学系统产生严重像差，从而使分辨本领下降。所以对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和各透镜的激磁电流。在所有的透镜中，物镜激磁电流的稳定度要求也最高。 近代仪器除了上述电源部分外，尚有自动操作程序控制系统和数据处理的计算机系统 2.4 主要部件的结构与工作原理 2.4.1样品台 2.4.2 电子束倾转与平移装置（电磁偏转器） 2.4.3 消像散器 2.4.4 光阑 TEM三种主要光阑是聚光镜光阑、物镜光阑、选区光阑。 聚光镜光阑的作用是限制照明孔径角，在双聚光镜系统中，常装在第二聚光镜的下方。 物镜光阑又称衬度光阑，通常安放在物镜的后焦面上，作用是挡住散射角较大的电子，提高图像的衬度，另一作用是在后焦面上套取衍射束的斑点成像。 选区光阑又称场限光阑或视场光阑，一般放在物镜的像平面上。 2.5 透射电镜分辨本领和放大倍数的测定 分辨率是透射电镜的最主要性能指标，它表征电镜显示亚显微组织、结构细节的能力。两种指标： 点分辨率—表示电镜所能分辨的两点之间的最小距离； 线分辨率—表示电镜所能分辨的两条线之间的最小距离，通常通过拍摄已知晶体的晶格像来测定，又称晶格分辨率。 低放大倍数是通过测定已经光栅来确定，高放大倍数通过已知晶体的晶格像来确定。 点分辨率和线分辨率的测定 * * 中南大学 材料科学与工程学院 艾　延　龄 E-mail: ylai@mail.csu.edu.cn 第二章 透射电镜的结构与成像原理 2.1 透射电镜构造原理 2.1.1 照明系统 照明系统由电子枪、聚光镜以及相应的平移、倾转和对中等调节装置组成，其作用是提供一束亮度高、照明孔径半角小、平行度好、束流稳定的照明源。为了满足明场和暗场成像的需要，照明束可以在5度范围内倾转。 2.1.1.1 电子枪 电子枪可分为热阴极电子枪和场发射电子枪。热阴极电子枪的材料主要有钨丝(W)和六硼化镧(LaB6)，而场发射电子枪又可以分为热场发射、冷场发射和Schottky场发射， Schottky场发射也归到热场发射。场发射电子枪的材料必须是高强度材料，一般采用的是单晶钨，但现在有采用六硼化镧(LaB6)的趋势。下一代场发射电子枪的材料极有可能是碳纳米管。 热电子枪由灯丝（阴极）、栅极帽、阳极组成。常用灯丝为钨丝（如H-800)、LaB6(如JEM-3010)。 自偏转回路起限制和稳定束流的作用 A、热阴极电子枪 自偏转回路起限制和稳定束流的作用 自偏压回路 电子枪内的等电位面 灯丝 阴极 a 无偏压 最大电流 b 最佳偏压 中等电流 c 高偏压 无电流 热阴极电子枪处偏压原理 自生偏压原理和饱和工作点 B、场发射电子枪 场发射电子枪没有栅极，由阴极和两个阳极构成。第一个阳极主要使电子发射，第二个阳极使电子加速和会聚。 枪发射电子枪示意图 发卡型钨灯丝 LaB6灯丝 Comparison of four different emission guns excellent good moderate bad Coherence 5x103 5x104 20 3 Current Density (A/cm2) 10 100 50 80 Emission Current (mA) 5 20 5,000 20,000 Diameter of Crossover (nm) 2000 2000 1000 200 Life time (hr) 10-8 10-7 10-5 10-3 Vacuum (Pa) 300 1,600 1,800 2,800 Heating Temp. (K) 4.3 2.6 2.7 4.5 Work Function (eV) 0.3-0.5 0.6-0.8 1.5 2.3 Energy Spread (eV) 109 108 106 105 Bri