内光成像开路案例分析.pptVIP

目录 一、分析背景 二、缺陷分析 三、原因分析 四、分析结果 五、改善措施 一、分析背景 1.1　光成像： 　　光成像是对贴在印制板上的光致抗蚀剂进行曝光，将菲林/文件上的图形转移到贴了感光膜的板面上，然后经过显影形成图像的一种方法。而开路是其最为常见的一种缺陷。 前处理 显影 曝光 贴膜 退膜 蚀刻 正片 负片 1.2　光成像9月缺陷柏拉图 1.3　6-9月光成像分月缺陷情况 二、缺陷分析 2.1　案例选择 2.2 缺陷展示 2.3 缺陷比对 选板缺陷 该型号共有4块报废板，开路类型各异，所选板为非圆滑开口。 同型号对比 不同型号对比 2.4 对比结果 开路缺陷大致可分为两种类型：开路边缘圆滑型和棱角鲜明型；而圆滑型主要是由于膜下杂质导致侧蚀过度形成的，棱角鲜明型主要是由于膜上杂质导致曝光不良形成的。 从同型号的对比可看出开路形状各异，有圆滑型也有棱角鲜明型，缺陷位置也各不相同，说明该型号的开路报废是偶然因素造成的；而我们所选板开路缺陷为棱角鲜明型，开路边缘呈凹状，大小尺寸为100um级，这说明极有可能是由于膜上杂质引起的。 从不同型号的比对可看出，开路原因更加多样化，有划伤、掉膜、过蚀等多种因素引起，说明在生产该报废板时产生问题较多。 三、原因分析 3.1 鱼骨图 机 人 法 环 局部曝光能量不足 前处理不良