传感器与检测课件cgq8第8章压力检测技术.pptVIP

第8章 压力检测技术 3) 压阻式压力传感器 压阻式压力传感器是基于半导体材料的压阻效应制成的，它是利用集成电路工艺直接在作为弹性元件的硅平膜片上按一定晶向制成扩散电阻，这样就很容易得到尺寸小、高灵敏度、高自振频率的压力传感器。 特点：压阻式压力传感器重复性、稳定性好，工作可靠；灵敏度高，固有频率高；测量范围宽；精度高；易于微小型化。压阻式压力传感器特别适合在中、低温度条件下的中、低压测量。 8.2.2电测试压力计 4) 压力传感器的变送电路 电流输出型变送器有4线制、3线制、2线制等几种。长距离传输时以2线制变送器最为经济、方便，因而应用最多。 工业上最广泛采用4~20mA直流电流作为标准信号来传输模拟量。 8.2.2电测试压力计 图8-11是一种2线制的压阻式差压传感器的变送器电路，由应变电桥、恒流源、温度补偿网络、放大及电压-电流转换等几部分组成，采用24V直流供电。 8.2.2电测试压力计 2. 电容式压力传感器 电容式压力传感器采用变电容测量原理，将被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电容的变化，测出电容量，便可知道被测压力的大小。 1)差动变极距式电容压力传感器 对于平板电容，在被测压力作用下，电容值C会因两平行板间距d发生的微小变化而变化。 特点：有较高的灵敏度，但当位移较大时传感器非线性严重；可改善非线性、提高灵敏度、并可减小因极板间电介质的介电常数ε受温度影响