实验3 椭圆仪测量薄膜厚度.pptVIP

实验3 椭圆仪测量薄膜厚度 目录 实验目的 实验原理 实验设备 实验步骤 一、实验目的 结合传统的测试方法去理解自动椭圆偏振测厚仪的工作原理，并且熟悉其操作的软件平台； 用椭偏仪测量Si衬底上的SiO2薄膜的折射率和厚度。 二、实验原理 使一束自然光经起偏器变成线偏振光。再经1/4波片，使它变成椭圆偏振光入射在待测得膜上。反射时，光的偏振状态将发生变化。通过检测这种变化，便可以推算出待测膜面的某些光学参数。 三、实验设备：自动椭圆偏振测厚仪光路图 测试 完成 三、实验设备：SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪 三、实验设备：软件界面 四、实验步骤 同时也要保证反射光进入接收端小孔 1、设置光源 2、设置入射角 3、设置衬底 同时也要设置设备的入射角 四、实验步骤 1、点击设置 2、设置测量方式为快速测量 四、实验步骤 点击开始进行测量 四、实验步骤 1、测量结束弹出如下框 2、点击快速出结果 四、实验步骤 记录下薄膜折射率、薄膜基厚度、厚度周期 记录下消光点 四、实验步骤 1、点击设置 2、设置测量方式为做图测量 四、实验步骤 点击开始进行测量 四、实验步骤 数据点所在位置 点击开始绘图，绘制薄膜厚度曲线 四、实验步骤 160nm对应的曲线 150nm对应的曲线 四、实验步骤 通过绘图可知，数据点在155nm和156nm之间 修改上下线 和精度 修改图像 放大倍数 四、实验步骤 切换模式，画曲线寻找折射率 四、实验步骤 修改上下限 修改精度 修改放大倍数 逼近数据点 四、实验步骤 填入前面作 图法获得厚 度和折射率， 得到周期厚度 四、实验步骤 1、点击设置 2、设置测量方式为查表 四、实验步骤 点击开始进行测量 四、实验步骤 点击建表 四、实验步骤 点击建表 四、实验步骤 厚度周期=d1-d0 记录消光点 折射率 膜厚度 四、实验步骤：记录数据 1/4波片：凡能使o光和 e光产生λ／4附加光程差的波片称为四分之一波片。若以线偏振光入射到四分之一波片，且θ＝45°，则穿出波片的光为圆偏振光；反之，圆偏振光通过四分之一波片后变为线偏振光。 * tgΦ的物理意义是P波和S波的振幅之比在反射前后的变化，称为椭偏法的振幅参量。Δ的物理意义是P波和S波的相位差在反射前后的变化，称为椭偏法的相位参量。Rp和Rs分别为P波初量和S波分量的总反射系数。 对一定厚度的某种膜，旋转起偏器总可以找到某一方位角，使反射光变为线偏振光。这时再转动检偏器，当检偏器的方位角与样品上的反射光的偏振方向垂直时，光束不通过，出现消光现象。消光时，Δ和Φ分别由起偏器的方位角P和检偏器的方位角A决定。把P值和A值分别换算成Δ和Φ后，利用公式和图表就可得到透明膜的折射率n和膜厚度d。 * 本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看右图。1、　光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定性好。2、　接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。3、　主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。4、电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。 * 1/4波片：凡能使o光和 e光产生λ／4附加光程差的波片称为四分之一波片。若以线偏振光入射到四分之一波片，且θ＝45°，则穿出波片的光为圆偏振光；反之，圆偏振光通过四分之一波片后变为线偏振光。 * tgΦ的物理意义是P波和S波的振幅之比在反射前后的变化，称为椭偏法的振幅参量。Δ的物理意义是P波和S波的相位差在反射前后的变化，称为椭偏法的相位参量。Rp和Rs分别为P波初量和S波分量的总反射系数。 对一定厚度的某种膜，旋转起偏器总可以找到某一方位角，使反射光变为线偏振光。这时再转动检偏器，当检偏器的方位角与样品上的反射光的偏振方向垂直时，光束不通过，出现消光现象。消光时，Δ和Φ分别由起偏器的方位角P和检偏器的方位角A决定。把P值和A值分别换算成Δ和Φ后，利用公式和图表就可得到透明膜的折射率n和膜厚度d。 * 本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看右图。1、　光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定性好。2、　接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。3、　主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。4、电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。 *