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湖南师范大学研究生课程论文 论文题目 表面分析与显微分析 课程名称 仪器分析与表征 姓 名 向伟健 学 号 201302120965 专 业 有机化学 年 级 2013级 学 院 化学化工学院 日期(年月日) 2013.12.10 研究生课程论文评价标准研究生课程论文评价标准 指标 评价内容 评价等级（分值） 得分 A B C D 选题 选题是否新颖；是否有意义；是否与本门课程相关。 20-16 15-11 10-6 5-0 论证 思路是否清晰；逻辑是否严密；结构是否严谨；研究方法是否得当；论证是否充分。 20-16 15-11 10-6 5-0 文献 文献资料是否翔实；是否具有代表性。 20-16 15-11 10-6 5-0 规范 文字表达是否准确、流畅；体例是否规范；是否符合学术道德规范。 20-16 15-11 10-6 5-0 能力 是否运用了本门课程的有关理论知识；是否体现了科学研究能力。 20-16 15-11 10-6 5-0 评阅教师签名： 年 月 日 总分： 湖南师范大学研究生处制 目录 TOC \o 1-4 \h \z \u 显微分析文献综述 1 前言 1 1.透射电子显微镜 1 1.1透射电子显微镜的发展概述 1 1.2基本原理 3 1.3应用 6 1.4发展趋势 7 参考文献 8 2.扫描电子显微镜 9 2.1扫描电子显微镜的发展概述 9 2.2基本原理 10 2.3 应用 12 2.4 发展趋势 15 参考文献 15 3.扫描隧道显微镜 16 3.1扫描隧道显微镜的发展概述 16 3.2基本原理 17 3.3应用 19 3.4发展趋势 21 参考文献 21 结论 22 PAGE 1 PAGE 1 显微分析文献综述 前言 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界。细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题。目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进人深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到, 显微分析技术的出现解决了这些难题。 在材料纳米材料分析当中，最常用到的电子显微分析技术包括了透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜(SEM)、扫描隧道显微镜(STM)等技术，通过这些技术来对物质的显微形貌、成分和结构进行分析，下面就是对这三种显微分析技术的介绍： 1.透射电子显微镜 1.1透射电子显微镜的发展概述 透射电子显微镜（TEM）是使用最为广泛的一类电子显微镜，是一种高精密度的电子光学仪器，具有高分辨率、高放大倍数的特点，能提供极微细材料的组织结构、晶体结构和化学成分等方面的信息，是材料科学研究的一种重要手段。 恩斯特·阿贝最开始指出，对物体细节的分辨率受到用于成像的光波波长的限制，因此使用光学显微镜仅能对微米级的结构进行放大观察。通过使用由奥古斯特·柯勒和莫里茨·冯·罗尔研制的紫外光显微镜，可以将极限分辨率提升约一倍[1]。然而，由于常用的玻璃会吸收紫外线，这种方法需要更昂贵的石英光学元件。当时人们认为由于光学波长的限制，无法得到亚微米分辨率的图像[2]。 1858年，尤利乌斯·普吕克认识到可以通过使用磁场来使阴极射线弯曲[3]。这个效应早在1897年就由曾经被费迪南德·布劳恩用来制造一种被称为阴极射线示波器的测量设备[4]，而实际上早在1891年，里克就认识到使用磁场可以使阴极射线聚焦。后来，汉斯·布斯在1926年发表了他的工作，证明了制镜者方程在适当的条件下可以用于电子射线[5]。 1928年，柏林科技大学的高电压技术教授阿道夫·马蒂亚斯让马克斯·克诺尔来领导一个研究小组来改进阴极射线示波器。这个研究小组由几个博士生组成，这些博士生包括恩斯特·鲁斯卡和博多·冯·博里斯。这组研究人员考虑了透镜设计和示波器的列排列，试图通过这种方式来找到更好的示波器设计方案，同时研制可以用于产生低放大倍数（接近1:1）的电子光学原件。1931年，这个研究组成功的产生了在阳极光圈上放置的网格的电子放大图像。这个设备使用了两个磁透镜来达到更高的放大倍数，