一种新型的二维光子晶体与光纤微纳集成结构.docVIP

说明书 100002 2010.2 一种新型的二维光子晶体与光纤微纳集成结构传感器 技术领域 本发明涉及一种新型的二维光子晶体与光纤微纳集成结构传感器，属于光子晶体传感器技术领域。 背景技术 目前，新型光子晶体传感器作为一种全新的高性能微纳传感器，由于其特有的高灵敏度、高分辨率、响应时间迅速、体积小易集成、抗干扰能力强以及可实现无标签检测等优势，得到了来自不同应用领域很多研究者的特别关注；随着微纳加工制备技术的发展，光子晶体传感器无论在理论研究方面，还是在实验研究和应用研究领域都得到了很大进展，被认为在实现Lab-on-a-Chip应用方面具备巨大性能潜力和集成优势。与此同时，随着体域网技术的研究深入，服务于人体健康的可穿戴、可植入监护设备已经出现，作为核心元件，超紧凑、高灵敏度微纳集成传感器符合未来传感网络对人体健康信息进行实时性准确监测的应用需求，有关新型光子晶体传感器的研究在高性能微纳感知检测应用研究领域备受关注。 目前国际上有关光子晶体传感器的应用研究报道已越来越多，所涉及到的光子晶体传感器的功能种类主要有生化传感器（文献1，Di Falco, A., L. O’Faolain, and T. F. Krauss. Chemical sensing in slotted photonic crystal heterostructure cavities. Applied physics letters 94.6 (2009) 063503）、压力感知传感器（文献2，Yang Yi, Daquan Yang, Huiping Tian, and Yuefeng Ji. Photonic crystal stress sensor with high sensitivity in double directions based on shoulder-coupled aslant nanocavity, Sensors and Actuators A: Physical 193 (2013) 149-154）、湿度传感器（文献3，Shi, Jinjie, Vincent KS Hsiao, Thomas R. Walker, and Tony Jun Huang. Humidity sensing based on nanoporous polymeric photonic crystals, Sensors and Actuators B: Chemical 129, no. 1 (2008) 391-396）、折射率传感器（文献4，D. F Dorfner, T.Hürlimann, T.Zabel, L. H.Frandsen, G.Abstreiter, and J. J.Finley. Silicon photonic crystal nanostructures for refractive index sensing, Applied Physics Letters, 93, 181103 (2008)）、微位移感知传感器（文献5，Daquan Yang, Huiping Tian, and Yuefeng Ji. Microdisplacement sensor based on high-Q nanocavity in slot photonic crystal, Optical Engineering, 50(5), 054402, (2011)）、温度传感器（文献6，H.Lu, M. P. Bernal. Integrated temperature sensor based on an enhanced pyroelectric photonic crystal. Optics express, 21(14), 16311-16318(2013)）等等。上述可实现不同传感功能的光子晶体传感器基本原理都是基于光子晶体光子禁带(PBG，photonics band gap)对禁带内导模在平面内的局域效应，其耦合方式是在光子晶体平面内进行的。随着光子晶体传感器应用研究的深入，光子晶体传感器的性能参数（品质因数Q值、灵敏度、分辨率、集成度）都得到了很大的提升。但与此同时，该类型高性能光子晶体传感器也面临着两个关键技术难题需要解决：1）结构设计复杂，实际制作困难：上述高性能光子晶体传感器结构模型都是基于结构复杂的光子晶体微腔结构，传感结构的优化设计相对比较复杂，而且对于微纳加工制备技术精度要求非常高，不利于光子晶体传感器的实际制作；2）耦合校准复杂，应用测试困难：目前有关光子晶体传感器件的研究和应用，大多都是基于光子晶体结构对光波在结构平面内的导光局域特性实现的，使得该类光子晶体传感器在实际应