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低频振动传感器幅值和相移测量的不确定度 于梅 （中国计量科学研究院、北京100013） 摘 要：深入研究影响测量结果的不确定度来源和大小，参考ISO 16063?11: 1999不确定度分量表，根据实验结 果和经验数据，对低频振动国家副基准测量高梢度低频振动传感器套组灵敏度幅值和相移进行测量不确定度的分析和评 估，为修订国家振动传递系统表提供了参考依据，其灵敏度幅值和相移测量的不确定度（k=2）为16 Hz参考点，Q 30%和 Q 19°; a 1 Hz?120 Hz通频带66%和 Q 65\ 矢键词：计量学;绝对法振动校准;正弦逼近法;灵敏度幅值和相移.振动套组，测量不确定度 中图分类号：1B936 文献标识码：A 低频振动传感器和测量仪应用广泛，涉及相关前 沿科学研究和工程应用的各个领域，其量值通过国家 振动低频甸」）基准溯源到基本量长度和时间。振动传 感器和测量仪灵敏度幅值和相移测量不确定度的正确 评估对保证我国振动量值在国际上的等效性和国内传 递的准确性起着至关重要的作用，因为测量结果除了 给出被测量的最佳估计值外，还应同时给出测量结果 的不确定度才完整和冇意义。振动测量属于动态测蜃 范畴，边界条件复杂,影响因素众多，不确立度分析比 较困难，迄今为止在国内未形成共识。考虑到与国叼 评价方法的差异必然会对我国在参加振动国际关键比 对、提供我国最高校准能力等国际交流屮造成障碍，所 以按照国际标准评价准则对国家基准进行测量不确定 度分析、评估和研究意义重大o 本文参考ISO 16063?11: 1999振动与冲击传感 器校准方法第11部分激光干涉法振动绝对校准”推荐 的正弦逼近法灵敏度幅值和相移测量的不确定度评忙 方法，通过实验和研究，分别在给定参考条件下和通册 带范围内，对高精度低频振动传感器套组（以下简称为 振动套组）的灵敏度幅值和相移测量的不确定度进行 了分析和评估，为国家振动检定传递系统的修订提供 了可靠的技术依据。 1系统组成和传感器复灵敏度 国家低频垂直向振动副基准主耍苗振动激励系绡 （包括振动台、功率放大器和函数发生器）、零差正友 Michelson激光干涉仪、数据采集处理系统组成。图］ 为测量系统的原理框图。 4叫 夕 ? * ■ - 7^^-IT 零差正交激光干涉仪 基金项目：国家质量监督检验检疫总局基金项目 收稿日期:2008 - 02 - 14修改稿收到日期:2008 - 07 - 03 作 者于 梅女，本科，研究员，1956年11月生 PX数据采集系统 被 适调放人器 功率放大器— P月数发生器 频率范围 Q 1 H7?12() Hz 振动位移（0 - P） 10pn ?2() mm 最大加速度 30 m / s2 加速度波形失真度 2% (120 Hz?2 Hz); 5% (1 H/? Q 4 Hz); 10% (Q 2 Hz?()1 Hz) 横向振动比 5% (2 Hz?100 Hz) 参考频率点 16 Hz(8 Hz) 图1加速度计幅相特性校准原理框图 表1国家低频垂直向振动副基准主要技术指标 被校仪器为低频振动加速度计套组（以下简称为 振动套组），它由JD?6D石英挠性加速度计和适配器 SYNX?II组成。其主耍技术指标为:加速度100 偏值 5 mg,温度系数 10Qxg/°C, 16Hz（10 m/s ）参 考点处灵敏度幅值128. 9mV/（m/V）,相移为?0. 32°。 振动套组校准的主要指标是加速度计的复灵敏 度,它用频率的复值函数表示： 佥=￡ exp旳-0 （1） 其屮，S “二』为加速度灵敏度幅值，为振动套组输出 a 电压r为加速度幅值用为振动套组输岀信号初相 位总为振动台加速度初相位，而4是振动 布，则如.1(S“) 布，则如.1(S“)鼻昔=0 057 7%,⑷如 Q 05 =Q 0231 %, Uy (纫 ()()1 =Q 00577 ° o 套组灵敏度相移。灵敏度幅值S“和相移4在频域的 变化即为其幅频和相频特性。 2建立数学模型 振动被测量丫常无法直接测量,它是由N个其他 量X「X2, , 的函数关系确定： TOC \o 1-5 \h \z Y = /(X,, X2, , Xn ) (2) 式(2丿是基于泰勒级数的一阶近似。被测量丫的 估计值y是由各输入量X,?的估计值孟按数学模型确 定的函数关系/计算得到?? y = f(x\, x2, , Xn ) (3) 便用不确定度传播定律，确定合成标准不确定度 仏作为丫的测量标准不确足度： Wv (y)= [n ( N =1 ~N ~ a游盘⑷ 式中，0/79坨为灵敏系数eg 由于各输入量之间独立无关，灵敏系数绝对值 g =1/2 Vo由函数误差理论可得?? N X (y)=牙“；(xj (5) 参考ISD 16063