共光路移相单频激光干涉测长系统.docx

激光原理小论文 共光路移相单频激光干涉测长系统 13光电 付骥 39261413103 共光路移相单频激光干涉测长系统 付骥 1 　引 　言 位相测量技术早在 20 世纪 70 年代就已被用于 干涉计量中[1 ] 。最初采用改变参考光程长度来获 得空间干涉条纹图移相 ,Smythe 和 Moore 利用 1/ 2 波片和 1/ 4 波片及偏振分束器( PB S ) 得到了理想的 瞬时移相干涉信号[2 ] 。Dorsey , Crosdale 和 Palum 将偏振光移相技术应用于长度测量干涉仪中[3 ] 。 光路布局应用光程差放大技术 ;偏振光移相技术和 A/ D 转换器以及高倍数的电子细分的使用极大地 提高了干涉仪的测量分辨力[4 ,5 ] 。但在高分辨力单 频激光干涉仪中 ,光强“零漂”带来的干涉信号的直 流点漂移直接影响电子细分的精度。作者提出了一 种单频激光干涉测长系统[6 ] : (1) 利用偏振光移相及共模抑制技术 ,解决了 光强“零漂”的问题 ; (2) 采用参考光束和测量光束共光路设计布 局 ,能有效地消除由于气流、气压、温度、湿度和外界 振动等测量环境因素给测量带来的误差 ; (3) 光路布局采用了光程差放大技术 ,提高了 干涉系统的分辨力。 在解决了原理构成的基础上 ,如何尽可能详尽 地找出影响干涉系统测长精度的因素 ,从而在仪器 的安装调试中获得理想的测长精度 ,这就成了使原 理构成实用化和仪器化的关键。因而构建了一套实 验光路布局 ,并对整个干涉系统进行了精度分析和 精度测试。同时还对测量误差进行了误差分离和系 统误差修正。 2 　系统组成及测长原理 干涉系统如图 1 所示。采用波长为 632. 8nm 的稳频 He2Ne 激光器 ,功率为 4mW。分束部分由 PB S 3 和直角棱镜 4 组成。合束部分由 1/ 2 波片 11 ,直角棱镜 12 和 B S 13 组成。偏振光移相由 1/ 4 波片 15 和 PB S 16 完成。激光器 1 发出的单模线偏 振光经扩束准直系统 2 后变成平行光束 ,经分束部 分变成两束振向相互垂直的两束线偏振光 ;测量光 束( S 光) 经过 1/ 2 波片 5 变为 P 光 ,透过 PB S 6 和 1/ 4 波片 7 后变为圆偏振光 ,经测量反射镜 9 反射 后再次经过 1/ 4 波片 7 ,圆偏振光变为线偏振光 ,振 向改变 90°变为 S 光 ,并在 PB S 6 分束面上反射 ,被 入射到角锥棱镜 10 上 ;经角锥棱镜中的三面反射后 ,振向不变按原方向反射到 PB S 6 分束面上 ,并再 次被反射到 1/ 4 波片 7 和测量反射镜 9 上 ,而且又 两次经 1/ 4 波片 7 后变成 P 光 ,返回后透过 PB S 6 成为包含有测量光程 r1 的测量光束。参考光束重 复测量光束的传播过程 (所不同的是被参考镜 8 反 射) ,透过 PB S 6 后成为包含参考光程 r2 的参考光 束。应用光波迭加理论 ,假定两光束的振幅为 a ,则 从 PB S 6 射出的两光束的振动方程为 测量光束 : E1 = acos( k r1 - ωt) (1) 参考光束 : E2 = acos( k r2 - ωt) (2) 1 —He2Ne 激光器 ;2 —扩束准直镜 ;3 —PBS ;4 —直角棱镜 ; 5 —1/ 2 波片 ;6 —PBS ;7 —1/ 4 波片 ;8 —参考平面镜 ; 9 —测量平面镜 ;10 —角锥棱镜 ;11 —1/ 2 波片 ; 12 —直角棱镜 ;13 —BS ;14 —偏振片 ; 15 —1/ 4 波片 ;16 —PBS 。 参考光束首先经过 1/ 2 波片 11 变为 S 光 ,然 后与测量光( P 光) 在 B S 13 汇合。一部分光束经偏 振片 14 后产生干涉图样 1 ,偏振片 14 的透光轴 P1 的方位如图 2 所示。其合振动方程(假定振幅不变) 为 E′= E1/ 2 + E2/ 2 = 2 acos k r1 - k r2 2 cos k r1 + k r2 2 - ωt (3) 令 k r1 - k r2 = δ, 则干涉图样 1 的光强为 I1 = ( 2 acosδ/ 2) 2 = a 2 (1 + cosδ) (4) 另一部分光束经过 1/ 4 波片 15 ,波片快慢轴方 位如图 2 所示。两线偏振光变为旋向相反的两圆偏 振光 ,振动方程如下 : 　两圆偏振光入射到 PBS16 ,由 PBS 的性质可 知 ,光矢量沿 x 方向的 P 波分量透射形成干涉图样 2 ,光矢量沿 y 方向的 S 波分量反射形成干涉图样 3 ,光强分别为 I2 和 I3 。 干涉图样