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电容式传感器
1.基本工作原理
电容式传感器是一个具有可变参数的电容器。多数场合下,电容是由两个金属平行极板组成,并且以空气为介质,如图1所示。两个平行板组成的电容器的电容量为
图 SEQ 图表 \* ARABIC 1平板电容
-电容极板间介质的介电常数,;
-真空介电常数;
-介质材料的相对介电常数;
A -两平行极板覆盖的面积;
d -两平行极板之间的距离;
C –电容量;
当被测参数变化使得式中的A,ε或d发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。改变平行极板间距d的传感器可以测量微米数量级的位移,而变化面积A的传感器则适用于测量厘米数量级的位移,变介电常数式电容式传感器适用于液面、厚度的测量。
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