微纳米制造技术的摩擦学挑战-摩擦学学报.pdf

第 25 卷　第 3 期 摩 擦 学 学 报 25, 　 3 V o l N o 2005 年 5 月 TR IBOL O GY M ay, 2005 微纳米制造技术的摩擦学挑战 1 1 1 2 雒建斌 , 何　雨 , 温诗铸 , 钟　掘 ( 1. 清华大学 摩擦学国家重点实验室, 北京　100084; 2. 中南大学 机械工程学院, 湖南 长沙　4 10083) 摘要: 评述了国内外航天、信息和军事等高技术领域中微纳米制造技术的研究现状和发展趋势, 介绍了微纳米制造 技术特征及其关键技术问题, 揭示了当器件的尺度由毫米量级减小到微米甚至纳米量级时, 微器件材料表面和界面的 ( ) 摩擦学 摩擦磨损及润滑 、力学和化学等及其控制方法是微纳米制造研究中急需解决的关键技术问题. 这些问题的 解决对摩擦学研究提出了严峻挑战, 新的摩擦学理论和技术的出现将为微纳米制造技术的发展以及相关问题的解决 提供保障. 关键词: 微纳米制造技术; 表面与界面; 摩擦学; 挑战 中图分类号: TH 117. 2 文献标识码: A 文章编号: (2005) 索和基本结构实验阶段, 但进展很快. 如美国哈佛大 1　国内外研究现状和发展趋势 学、荷兰D eift 大学等用碳纳米管和纳米导线为材料 随着现代科学技术的发展, 人们不断追求尺度小 成功制备出了二极管和场效应晶体管; 美国加里福尼 且性能完善的微型装置, 以适应信息、生物、环境、医 亚大学伯克利分校和贝尔实验室尝试用几百个原子 学、航空航天和灵巧武器等领域的要求. 这一发展趋 的晶体制作量子岛; 美国加里福尼亚大学洛杉机分校 势对于现代制造科学技术的发展具有深远的影响. 目 和惠普实验室开展了利用共振隧道效应使有机分子 前, 微纳米制造技术已成为制造业发展的重要方向, 实现“通”、“断”状态转换的实验研究等. 这些基础研 是 2 1 世纪最具有前景的3 大领域和当今世界竞争最 究显示了下一代电子器件发展的新方向和进入量子 激烈、发展最迅速的领域之一. 化的新阶段. 但上述原理性的实验如何才能演变为具 微纳米器件中起主导作用的是微纳米电子器 有运算功能的电路和器件还有赖于进行一系列由功 件. 针对继硅基微电子器件之后将会出现何种纳米电 能原理向制造原理转化的研究. 子器件, 目前国际上已提出了多种解决方案. 其思路 微电子机械系统( ) 是电子与机械相结合 M EM S 基本可分为 2 种: 其一为研究开发最小特征线宽为 的微机电系统, 具有微驱动微制动机电微结构集成 20～ 50 nm 的器件, 作为现有集成电路的进一步微细 的特点. 在尺度趋向微米、纳米时, 小尺度效应产生的