杜聪敏李迥达-机械与自动化工程-义守大学.doc

2008 義守大學校友回娘家—能源與科技論壇暨研討會，高雄 Renewable Energy Technology Education of I-Shou May 24 單軸式壓電薄膜微加速度計之設計與分析 杜聰敏 李炯達 義守大學 機械與自動化工程學系 摘要 微機電系統(MEMS)在近年來已成為最熱門的研究之一，然而微加速度計之感測方式有壓電、壓阻、電容、穿遂式等。其中壓電材料具有機電能互換的能力，本文使用的壓電材料為鋯鈦酸鉛（PbZrxTi1-xO3，PZT），由於具有高機電耦合係數，能量密度高、動作反應快、對環境敏感度低等優點，已廣泛地應用在微感測器中。本文係利用PZT之壓電效應來感測單一軸向之加速度大小，當振動質塊受到加速度衝擊作用時，造成壓電薄膜彎曲變形，並輸出ㄧ電壓訊號，藉此量測敏感度。同時採用有限元素分析軟體ANSYS作為驗證工具，其模擬之結果與理論推導極為相近。 關鍵字：微機電、加速度計、PZT 模型設計 本模型由一厚度30um之矽薄膜與厚490um之中央質塊組成，。於Z方向施以加速度作用，質塊受慣性力作用而上下移動，造成薄膜及其上之PZT變形，產生應力與應變；接著將PZT之應力轉換為電荷訊號，量測其敏感度。材料參數之設定請參閱表一。 製程規劃 電極材料有Ti、Pt及LSMO，製作流程如圖一所示。 1. 首先利用濺鍍法鍍上Ti、Pt，接著利用掀去法完成所需電極圖形 2. 鍍上LSMO，利用硝酸蝕刻電極圖形，完成下電極製作 3. 利用Sol-Gel法鍍上PZT，採BOE蝕刻出PZT之圖形 4. 接著鍍上LSMO，運用光阻為影出上電極之圖形後，將Ti/Pt鍍上，利用掀去法完成金屬 電極，完成的Ti/Pt做為阻擋層，用硝酸蝕刻LSMO之圖形，完成上電極製作 5. 最後以KOH蝕刻背面之振動質塊，即完成微加速度計之製作 此外，KOH蝕刻島狀質塊時會產生底切現象，因此設計之光罩需考慮角落補償。 有限元素分析 運用套裝軟體ANSYS 10.0建立所需模型並分析結果。尺寸及應力分布請參閱圖二及圖三。由於此模型為對稱結構，因此僅需建立1/4模型將步驟簡化並進行模擬分析。未來也將設計具有更高敏感度與多軸式之微加速度計。 材料 楊氏係數 () 密度 () 蒲松比 Si 2330 0.0625 PZT 7550 0.3 Pt 2145 0.39 表一 材料參數表 圖一 製作流程 (圖片來源:高雄第一科技大學 余志成 博士) 圖二 尺寸示意圖 圖三 應力分布圖