CZ法单晶硅生长中热量、动量和质量输运特性的数值分析.pdfVIP

中国工程熟物理学会 传熟传质学 第十届年会 013224 CZ法单晶硅生长中热量、动量 和质量输运特性的数值分析 李明伟1，曾丹苓1，毛科2，李杰’ (1重庆大学动力工程学院。400044) (2四川电力试验研究院) Tel．：023emil：mwliz@一,,163．net 摘要 _本文采用有限元方法对cz法单晶硅生长炉中的热量、动量和质量辅运过程进行了全局数值 分析。建立了单晶硅cz法生长的全局分析的数学摸型．利用所开发的全局分析程序较为详细地 研究了气体导流板对近自由表面熔体的流动特性一对熔体中氧的分布和生长界面氧的古量的影 响。得到了无气体导流板的传统生长炉和有气体导流板的改进型炉子的一些传热、传质和动量传 递的特性和规律。为生长高质量单晶硅提供了有