光电技术第7章1节.ppt

当参考光束与测量光束的光程差Δ是波长λ的整数倍时，即Δ＝±K入(K=0，1，2，3…)时，两束光波的相位相同， M1处的光强度最大(出现亮点)，光电器件输出高电平；当光程差Δ＝±(K十1/2) λ时，两束光波的位相差为π， M1处的光强度为零(出现暗点) ，光电器件输出低电平。 当M3沿着测量光束的光轴移动时，在M1上将出现亮暗交替的干涉条纹，其光强度的变化规律为 Iv=Iov(1+KIcos(2πΔ/λ)) Iv=Iov+IovKIcos(2πΔ/λ) (7-34) 式中，Io为平均光强度，KI为干涉条纹的对比度。 光程差每变化波长λ时，干涉条纹暗亮变化一次，当干涉条纹变化n次时，光程差Δ＝nλ。对于图7-14所示结构，光程差Δ是动镜M3位移量L的二倍。因此，被测位移量 L=nλ/2 ( 7-35) 只要计量干涉条纹的个数n，便可测出测量头移动的长度。这种结构的量化单位为λ/2。 根据两个光电器件输出脉冲的先后判断测量头的移动方向（即条纹是由亮变黑还是由黑变亮） 。然后，采用可逆计数器进行加、减计数。 信号处理电路 当动镜移动时，光电接收器输出近似的正弦信号，经放大后由施密特比较器进行整形。如条纹右移，则?V1的相位超前900，V0输出为“1”