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第三章 电参量传感器 3.1 电容式传感器 3.1.1 电容式传感器结构与工作原理 1.变极距型电容传感器 （1）简单变极距型电容传感器 ★原理； 一般在最大位移小于间距的1/10时，C与△δ成线性关系。 ★灵敏度； ★容抗输出 （2）差动变间隙式电容传感器 ★原理 ★灵敏度 ★非线性误差 2.变面积型电容传感器 ★类型：平板电容器，圆柱形电容器，角位移电容器，容栅式电容器。 变介电常数型电容传感器 （1）介质本身介电常数变化的电容传感器 （2）改变工作介质的 电容式传感器 3.3.2 电容式传感器的等效电路 C：传感器电容（包含寄生电容）； R：引线电阻、极板电阻和金属支架电阻； L：引线电感和电容器电感之和； RP:极板间的等效损耗电阻。 3.3.3 电容式传感器的测量电路 调频电路、运算放大器电路、双T型电桥电路和差动脉宽调制电路 1.调频电路 2. 运算放大器电路 3.二极管双T型电桥电路 4.脉冲宽度调制电路 1.电容式差压传感器 2.差动式电容测厚传感器 3.2 电感式传感器 ★常用来测量位移、压力、振动、应变、流量和比重等参数。 ★自感式（变气隙式、变截面积式和螺管式）；互感式(变气隙式和螺管式)；电涡流式（高频反射式、低频透射式）。 ★优点：结构简单，工作可靠，灵敏度高，分辨率高；测量精度高，线性好，性能稳定，输出阻抗小，输出功率大；抗干扰