传感器应用技能实训 教学课件 作者 彭学勤 周志文 编著 09.pptVIP

技能训练九 湿度传感器  人民邮电出版社 主编 彭学勤 目的要求 （1）掌握湿度传感器的应用场合及应用方法，了解它们的工作过程。 （2）掌握湿度传感器的工作原理，了解其结构及分类。 （3）能分析湿度传感器的应用电路。 仓库湿度智能数据采集系统 一、湿度传感器的组成 湿度是指大气中水蒸气的含量，通常采用绝对湿度和相对湿度两种方法表示。绝对湿度是指单位空间中所含水蒸气的绝对量或者浓度、密度；相对湿度是指被测气体中水蒸气气压和该气体在相同温度下饱和水蒸气气压的百分比。 湿度传感器是基于能产生与湿度有关的物理效应或化学反应的某些材料对湿度非常敏感，能将空气中湿度的变化转换成某种电量的变化的原理。 二、湿度传感器的结构及工作原理 1．湿度传感器的结构 湿度传感器性能比较 2．湿度传感器的工作原理 （1）电阻式湿度传感器 （2）电容式湿度传感器 在单晶硅的上面覆盖一层SiO2绝缘膜，单晶硅的下面镀一层铝，成为电容的一个电极；绝缘膜的上面分别覆盖一层高分子感湿膜和多孔金材料，多孔金材料和镀在它上部的铝材料构成电容的另外一个电极。空气中的水分子透过多孔金电极被感湿膜吸附，使得两电极间的介电常数发生变化，环境湿度越大，感湿膜吸附的水分子就越多，使湿度传感器的电容量增加得越多，根据电容量的变化可测得空气的相对湿度。 三、湿度传感器的测量电路 1．电阻式湿度传感器的测