一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究-红外技术.pdfVIP

第36 卷 第1 期 红 外 技 术 Vol.36 No.1 2014 年1 月 Infrared Technology Jan. 2014 〈系统与设计〉 一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究 1 2 1 1 周 云 ，张 丽 ，吕 坚 ，蒋亚东 （1.电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054 ，2.东北微电子所，辽宁 沈阳 110032 ） 摘要：针对非制冷红外探测器系统，设计了一种高均匀性的读出电路 （ROIC ）结构。由于非制冷红 外焦平面阵列中微测辐射热计的制作工艺存在偏差导致探测器输出存在非均匀性，其中列条纹尤为 明显。所提出的读出电路能有效地消除列条纹、提高均匀性。该ROIC 已在0.5 m CMOS 工艺下成 功流片，并应用到阵列大小为320 ×240 的非制冷微测辐射热计焦平面上。测试结果表明：固定图像 噪声 （FPN ）仅为0.088 V ，无明显列条纹。该ROIC 在高均匀性的非制冷红外探测器上有着广泛的 应用。 关键词：非制冷；微测辐射热计；非均匀性；读出电路 （ROIC ） 中图分类号：TN432 文献标识码：A 文章编号：1001-8891(2014)01-0022-04 An Novel Readout Circuit Allowing Microbolometer to Operate with High Uniformity 1 2 1 1 ZHOU Yun ，ZHANG Li ，LV Jian ，JIANG Ya-dong （1.State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu 610054, China; 2.Northeast Microelectronics Institute, Shengyang 110032, China ） Abstract ：This paper describes a new read-out IC （ROIC ）architecture with high uniformity for the uncooled microbolometer detector. Mismatch which is due to the production process of uncooled infrared focal plane array of microbolometer leads to detector non-uniformly. Especially, the non-uniformity of column is the most obvious. Numerical simulation and measurement of the proposed ROIC architecture demonstrate high readout uniformity. A 320 ×240 uncooled microbolometer focal plane array （FPA ）based on the proposed circuit was implemented o