精密测量技术04.pptVIP

第四章 表面粗糙度及表面微观形貌测量 表面微观形貌是指表面的微观几何形态；它是由于加工过程中刀具和零件的摩擦、切削分离时的塑性变形和金属撕裂、加工系统的振动等原因，在零件表面留下的各种不同形状和尺寸的微观结构。表面形貌的测量越来越引起人们重视，这是因为： (1)表面微观形貌在很大程度上决定了零件的使用性能。它影响机械系统的摩擦磨损、接触刚度、疲劳强度、配合性质、传动精度、导电、导热、抗腐蚀性等，从而影响到机械产品的质量及可靠性。它是机械产品的重要质量指标，不仅要定性测量，还要定量测量。 (2)表面微观形貌对加工过程中的工艺过程状态(如刀具磨损、机床振动、切削用量等)变化非常敏感，因此它被认为是加工过程中控制、监测和诊断的重要手段。 (3)当代高新科技的发展对于表面微观形貌研究提出了越来越高的要求。硅片表面粗糙度对集成电路的电阻、电容、成品率影响很大；磁盘表面粗糙度影响到耐磨、使用寿命、信号的读出幅度、信噪比等；X射线元件、激光器的反射镜窗片、同步辐射光学元件、激光陀螺元件等都要求越来越高的表面质量。 (4)表面微观形貌测量在学科领域上和纳米技术、生物技术等互相渗透，后者的发展为前者带来了新的技术手段和新的工作领域。 机械加工中描述表面微观形貌误差最常用的参数是表面粗糙度。 Ra为轮廓算术平均偏差:在取样长度内被测轮廓偏距绝对值之和的算术平均值。 Rz为微观不平度10点高度:在