拉晶操作培训.pptVIP

拉晶工序 清炉 拉晶完毕，晶棒取出后，炉体冷却后，对单晶炉进行清扫。 每次小清，4炉次之后大清。 小清只需取出几个石墨部件打扫干净，不过为了防止泄漏，必须清理防爆阀上的密封圈。 大清时将石墨热场全部清理，包括真空管道。 清理完之后，用酒精将炉壁内擦拭干净。 清炉时要确认石墨加热器螺丝是否加紧，防止松动造成打火。 清炉顺序：自上而下，逐一清理 二、热场的安装与煅烧 安装电极→炉底碳毡→反射底板→下保温罩→石墨环、石英环→加热器→中保温罩→石墨托杆→石墨托盘→装三瓣埚→下降主炉室→上保温罩→导气孔→保温盖板→装导流筒→压环 石英坩埚的安装 安装石英坩埚前，请穿好洁净的工作服，工作帽，并戴好未使用的一次性手套； 确认石英坩埚内无脏污、裂口、气泡等； 安装石英坩埚时要轻放，防止损伤石英坩埚； 安装完毕后确认石英坩埚口是否水平。 装料 装料前要穿好结晶的工作服，戴上工作帽，防护眼镜，一层棉手套，一层一次性手套。 在装料时因轻拿轻放，防止碰伤石英坩埚。 液面以下部分尽量加满不要有空隙，液面以上于石英坩埚接触采用点接触并重心往里，防止熔化时产生挂边； 装料完毕之后因用吸尘器将石英坩埚口和石墨件上的硅料粉吸掉； 注意：吸尘器吸粉料时吸尘管不要碰到硅料和石英坩埚，防止被污染。 装料时，先将埚升升到到最高位置，在进行装料。 装料 装料时要轻放、慎重作业、不要使硅料掉在保温材料和加热器之间的缝隙。在埚