第5章 压电式传感器.pptVIP

由于σx=σy=σz=σ ，且d31=d32 ， 所以： qx=(2d31+d33)σ 技术指标 以某小型“内装IC的压电加速度传感器”为例 灵敏度：500mV/g 量程：10g 频率范围：4-4000Hz安装谐振点:15kHz 分辨力：0.00004g 重量：40g 安装螺纹：M5 mm 线性：≤1% 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应） （4）压电半导体材料 如ZnO、CdS 、ZnO 、CdTe，这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可测取力和温度等参数。 (5)铌酸盐系压电陶瓷。 5.3 压电元件的常用结构形式 5.3.1 压电元件的基本变形方式 1.对能量转换有意义的石英晶体变形方式： (1)厚度变形（TE方式）：利用石英晶体的纵向压电效应 Qx=d11·Fx 或 qx= d11·σx (2)长度变形（LE方式）：利用石英晶体的横向压电效应 Qy=d12·Fy·Sxx /Syy 或 qx= d12·σy (3)面剪切变形（ FS (Face shear)方式）：