双色大面阵量子阱红外探测器读出电路设计-激光与红外.pdf

第４６卷　 第２期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４６，Ｎｏ．２ 　 ２０１６年２月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊａｎｕａｒｙ，２０１６ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１６）０２０２２５０５ ·电子电路 · 双色大面阵量子阱红外探测器读出电路设计 于　艳，谭　振，宁　玮 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：以双色量子阱６４０×５１２读出电路的设计为例阐述大面阵读出电路的设计要点，分模 块详细说明了设计思路和具体电路结构，给出了电路仿真结果和实测结果，最后从电路、版图 的角度分析了双波段大规格读出电路的一些设计要点。 关键词：双色；量子阱；读出电路；大面阵 中图分类号：ＴＮ２１４　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１６．０２．０２０ ＤｅｓｉｇｎｏｆｄｕａｌｂａｎｄｌａｒｇｅｆｏｒｍａｔＱＷＩＰＲＯＩＣ ＹＵＹａｎ，ＴＡＮＺｈｅｎ，ＮＩＮＧＷｅｉ （ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｋｅｙｄｅｓｉｇｎｐｏｉｎｔｓｏｆｌａｒｇｅｆｏｒｍａｔｒｅａｄｏｕｔｃｉｒｃｕｉｔａｒｅｄｅｓｃｒｉｂｅｄｗｉｔｈｄｕａｌｂａｎｄＱＷＩＰ６４０×５１２ＲＯＩＣ ｄｅｓｉｇｎａｓａｎｅｘａｍｐｌｅＴｈｅｄｅｓｉｇｎｉｄｅａａｎｄｓｐｅｃｉｆｉｃｃｉｒｃｕｉｔｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎａｒｅｅｘｐｌａｉｎｅｄｉｎｄｅｔａｉｌＴｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｒｅｓｕｌｔｓ ａｎｄｔｅｓｔｒｅｓｕｌｔｓａｒｅｇｉｖｅｎＦｉｎａｌｌｙ，ｓｏｍｅｋｅｙｄｅｓｉｇｎｐｏｉｎｔｓｏｆｄｕａｌｂａｎｄｌａｒｇｅｆｏｒｍａｔＲＯＩＣａｒｅａｎａｌｙｚｅｄｆｒｏｍｐｏｉｎｔｏｆ ｖｉｅｗｏｆｃｉｒｃｕｉｔａｎｄｌａｙｏｕｔ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｄｕａｌｂａｎｄ；ＱＷＩＰ；ＲＯＩＣ；ｌａｒｇｅｆｏｒｍａｔ １　引　言 详细说明了设计思路和具体电路结构，给出了电路 在过去的很长时间里，以光伏探测器材料如碲 仿真结果和实测结果，最后从电路、版图的角度分析 镉汞和锑化铟为基础的第二代红外焦平面技术获得 了双波段大规格读出电路的一些设计要点。 了快速发展。而基于量子限制效应导致的子带间跃 ２　双色量子阱红外探测器读出电路设计 迁原理的量子阱红外探测器是一种新型的器件［１］。 ２１　双色ｎｉｎ量子阱红外探测器结构 量子阱红外探测器相对碲镉汞红外探测器而言由于 器件结构采用ｎ－ｉ－ｎ的生长方式，首先生长 １５ ｍ的高 Ａｌ组分的ＡｌＧａ Ａｓ腐蚀停止层和 工艺复杂度低、光谱响应带宽窄、不同波段之间的光 μ ｘ １－ｘ １０ｍ的ｎ型掺杂的下电极欧姆接触层，然后生长 学串音小，因此特别适宜制备双色、多色及高均匀性 μ ３０个周期的ＩｎＧａ Ａｓ／ＧａＡｓ／ＡｌＧａ Ａｓ中波红 大规模焦平面探测器。与碲镉汞红外探测器相比， ｘ １－ｘ ｘ １－ｘ 外（ＭＷＩＲ）多量子阱，再生长０５ ｍ的ｎ型掺杂的 它具有波长连