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电子工业静电防护指南 前 言 目 录 第1章 静电基本概念 第2章 电子工业中的静电问题 第3章 静电防护原理 第4章 防静电工作区(EPA)的构成和技术要求 第5章 EPA的防静电工艺与质量管理 第6章 EPA防静电系统的检验 第7章 静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试 附录D《静电放电控制程序》前言与静电放电协会 标准 第1章 静电基本概念 1.1.1 静电具有的特点 1.1.3 几种常见的静电物理量纲及换算 (1)静电电量: 表示电荷多少的物理量称为电量 1.2.1 固体起电 1.2.1.1 固体接触摩擦分离起电 (1)导电金属之间的摩擦 1.2.1.2 固体的带电形式 ※1.2.2 粉体起电 1.3 静电场 ※1.3.1 电场强度 1.4.1 导静电和静电屏蔽材料 1.6.1 静电感应 1.6.2 静电屏蔽 1.6.3 法拉第筒(笼) 第2章 电子工业中的静电问题 2.1 静电效应与静电对微电子制造业的危害 2.1.1 静电效应 2.1.1.1 静电荷产生的电场力 2.1.2 静电对微电子制造业的危害形式 2.1.2.2 静电放电及产生的宽带电磁脉冲效应 2.1.2.3 静电场感应及放电 ※2.2.1 器件ESD损伤失效模式 2.2.1.1 突发性完全失效 2.2.1.2 潜在性缓慢失效 2.2.1.3 常见的静电放电损伤的失效模式 2.2.1.4 静电放电损伤的失效现象 2.2.2 SSD的分级 2.3 电子工业静电损害事例及统计 2.3.1 电子器件损失统计 2.4.1 人体静电与人体用品 2.4.2 树脂、浸漆封装表面 2.4.4 各类工作表面、工具(包括气动工具、吸锡器等) 2.4.5 装配、清洗、试验和修理过程 2.4.6 各种绝缘地面 2.4.7 生产、装联、焊接、检验、高低温处理 等设备 2.4.8 接地系统和电源 2.4.9 生产、存储环境中的绝缘物和对地绝缘 的导体 2.4.10 环境电磁场 2.4.11 有静电防护要求的场所 第3章 静电防护原理 3.1 静电耗散及泄漏 3.1.1 静电耗散及泄漏一般要求 3.1.2 耗散与接地的特殊情况 3.1.3 防静电材料(装备)使用中的安全问题 3.2 静电中和 3.5.1 SSD ESD保护电路的设置 3.5.1.1 SSD和混合集成电路的保护电路设 计注意事项 3.5.2 电子设备的ESD防护 3.5.2.1 输入/输出电缆的处理 3.5.2.2 键盘和控制面板 3.5.2.3 电路设计和印制电路板(PCB)布线 设计 3.5.2.4 仪器电路结构设计 4.1 EPA的构成 4.1.1 EPA定义和总体技术要求 4.1.2 EPA硬件组成和要求 4.1.3 软件与管理方面要求 4.1.4 在EPA内防静电用品、装联生产设备 特殊装备(车辆、航空器)的要求 4.1.4.1 人体静电防护用品 4.1.4.2 防静电包装类 4.1.4.3 传输带(线) 4.1.4.4 运转车、存放柜(架)、工作椅、 工作台(桌) 4.1.4.5 工位器具(架)、操作工具(刷子) 4.1.4.6 墙壁和天花板 4.1.4.7 窗帘、抹布、粘尘垫 4.1.4.8 气动、电池动力工具、吸锡器、焊接 设备(烙铁) 4.1.4.9 各类生产装联设备和对地绝缘的金属体 4.1.4.10 防静电地坪 4.1.4.11 离子静电消除器及使用 4.1.5 EPA环境要求 4.2 EPA内的接地与防雷 4.2.1 安全保护接地 4.2.2 工作接地 4.2.3 重复接地 4.2.4 中性点、零点和中性线、零线 4.2.5 屏蔽接地 4.2.6 直流接地 4.2.7 信号接地 4.2.8 防静电接地 ※4.2.9 EPA防雷接地与防雷设计 4.2.9.1 防雷接地 4.2.9.2 EPA内防雷设计 4.2.10 EPA防静电接地及与其他接地的关系 4.2.10.1 防静电接地及埋设 4.2.10.2
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