QMD-GDWE04001-2015c 电子车间防静电管理工作指引(0727)2.docxVIP

电子车间防静电管理工作指引 PAGE 2015-4-3 批准 2015-4-3 实施 PAGE 18/ NUMPAGES 18 2015-3-3 批准 2015-3-3 批准实施 电子车间防静电管理工作指引 QMD-GDWE04.001-2015c 修订说明 编制/修订原因说明： 为管控电子车间静电问题，特制定《电子车间防静电管理工作指引》，用于指导顺德三分厂电子车间的防静电工作。 章节号 修订(内容)说明 修订人/时间 \ 5.3.1.5 4.5.2.3 5.3.1 6.1 7.1.1 新编完善 增加防静电服外观检验条款 增加静电手环鳄鱼夹与地线连接特别要求 更新静电工衣（上衣/裤子）、静电帽的测试要求 增加静电工衣/静电帽的管理要求 更新防静电工衣、防静电帽的清洗要求 李然/2015.01.04 李然/2015.03.03 李然/2015.04.03 李然/2015.07.27 李然/2015.07.27 李然/2015.07.27 范围 本文件规定了电子车间防静电管理的工作要求，用于指导顺德三分厂电子车间的防静电工作，对电子产品制造工艺进行防静电保护，减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，通过建立有效的高质量管理稽核程序，保证各项防静电措施的有效实行。 同时规范了静电衣、静电鞋、静电帽、静电手套、静电袖套、车间地面、设备、工装夹具的定期检查进行规范，确保防护用品在满足防护要求条件下进行使用。 本文件使用与三分厂电子车间。 术语和定义 本文件采用下列定义： 静电：物体表面过剩或不足的静止的电荷。 静电场：静电在其周围形成的电场。 静电放电：ESD(ElectroStatic Discharge)两个具有不同静电电位的物体，由于直接 接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后，击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电。 静电敏感度：元器件所能承受的静电放电电压。 静电敏感器件：对静电放电敏感的器件。 接地:电气连接到能接受大量电荷的物体,如大地等。 中和：利用异性电荷使静电消失。 防静电工作区：EPA(ElectroStatic Protected Area)配备各种防静电设备和器材，能限制静电电位，具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地。 根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。 静电绝缘材料：表面电阻率≥1012Ω； 静电耗散材料：表面电阻率105-1011Ω； 静电导电材料：表面电阻率103-105Ω 静电屏蔽材料：表面电阻率＜103Ω 管理职责 参与部门 防静电物品管控工作是一项细致且长久持续的的工作，需要参与的部门有：工艺、生产、IQC、 现场品质、采购等部门。 部门职责 工艺 主导防静电物品管控工作，建立规范并确保规范条款的落实。 完善防静电物品管控工作。 新员工防静电知识培训。 生产 遵守规范要求，定期更换超过使用期的防静电物品。 按照清洗要求对防静电物品进行清洗。 IQC 对新到货的防静电物品按照比例进行检验。 新员工防静电知识培训。 现场品质：对生产正常使用的防静电物品按照比例抽检。 采购 根据工艺要求的技术，寻找合适的资源（仪器、设备等），完善防静电物品管控工作。 采购开报检单，通知IQC进货检验。 管理内容 ESD敏感分类 静电敏感等级的划分 器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件ESD敏感程度的因素包括：ESD电流、能量包络、电场强度、放电的上升时间、器件设计、制造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻、保护电阻等的过电流引起。电压敏感器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的ESD敏感度等级，逐渐发展了三种测试模型，分为人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM）,其中常见的模型为人体模型(HBM)。 静电敏感电压的分类 静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式进行分类，一般来说，器件的静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必要的联系。 没有特殊说明时，本规范主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。 静电敏感组件的等级按照其上所装的最敏感器件的敏感等级来确定。 最初器件的ESD损伤主要采用了HBM进行分析，随着电子技术