第十一章数字传感器.pptVIP

应用 数控机床位置反馈 1.感应同步器结构  1. 感应同步器的结构 　　定尺和滑尺的基板由与被测物体热膨胀系数相似的钢板做成、钢板上用绝缘粘结剂贴有铜箔，并利用照相腐蚀 的办法做成印制绕组。感应同步器定尺和滑尺绕组的节距 相等，均为２τ，这是衡量感应同步器精度的主要参数， 工艺上要保证其节距的精度 。 感应同步器是利用电磁耦合原理，将位移或转角转变为电信号的位置检测元件。根据结构特点可分为：旋转式和直线式两种。 * 数字式传感器 随着微型计算机的迅速发展和广泛应用，信号的检测、控制和处理已进入的数字化时代。通常采用模拟式传感器获取模拟信号，利用A/D转换器将信号转换成数字信号，再用微机和其他数字设备处理进行处理，这种方法简便亦行，但系统的构成也很复杂。数字式传感器就是为了解决这些问题而出现的，它能把被测模拟量直接转换成数字信号输出。 目前，常用的数字式传感器有四大类：(1) 栅式数字传感器；(2)编码器；(3)频率/数字输出式数字传感器；(4)感应同步器式的数字传感器。 11.1 栅式数字传感器 一、栅式数字传感器的分类 根据栅式数字传感器的工作原理，可分为光栅和磁栅两种。光栅是由很多等节距的透光缝隙和不透光的刻线均匀相间排列构成的光电器件。按其原理和用途，它又可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光波长等量的测量。计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、速度、加速度、振动等物现量（运动量）。计量光栅又有透射光栅和反射光栅之分，具体制作时又可制作成直线位移的长光栅和角位移的圆光栅。本节主要介绍透射式的直线计量光栅。 二、透射式计量光栅的结构和工作原理 计量光栅的基本元件是主光栅和指示光栅(动尺和滑尺)。它们是在一块长条形光学玻璃上，均匀刻上许多明暗相间、宽度相等的刻线，如下图所示。常用的光栅每毫米有10、25、50、100和250条线。主光栅的刻线一般比指示光栅长。若划线宽度为a缝隙宽度为b，则光栅节距或栅距W为W＝a + b。通常取a = b＝W /2。 光栅与莫尔条纹示意图 主光栅 指示光栅 指示光栅移动方向 莫尔条纹 若将两块光栅(主光栅、指示光栅)叠合在一起，并且使它们的刻线之间成一个很小的角度θ，如右图所示。由于遮光效应，两块光栅的刻线相交处形成亮带，而在一块光栅的刻线与另一块光栅的缝隙相交处形成暗带，在与光栅刻线垂直的方向，将出现明暗相间的条纹，这些条纹就称为莫尔条纹。 (1) 莫尔条纹（Moire） 条纹宽度： W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 特例：当 ?=0, w1=w2 → B=? → 光闸莫尔条纹 当 ?=0, w1≠w2 → 纵向莫尔条纹 均匀刻线 主光栅 指示光栅 夹角 明暗相间条纹 莫尔条纹 移动 莫尔条纹特性： 方向性：垂直于角平分线，当夹角很小时 → 与光栅移动方向垂直 同步性：光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距一方向对应 放大性：夹角θ很小 → BW → 光学放大 → 提高灵敏度 可调性：夹角θ↓→ 条纹间距B↑ → 灵活 准确性：大量刻线 → 误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度 (2) 光栅传感器分类与结构原理 按运动形式分： 直线型---主光栅为直尺形→直线移动 旋转型---主光栅为圆盘形→旋转运动 按光学形式分： 透射式---光源与光电元件在两侧→透射光 反射式---光源与光电元件同一侧→反射光 如果改变θ角，两条莫尔条纹问的距离B也随之变化。由下图可知，条纹间距B与栅距W和夹角θ有如下关系： 当指示光栅沿着主光栅刻线的垂直方向移动时，莫尔条纹将会沿着这两个光栅刻线夹角的平分线的平行方向移动，光栅每移动一个W，莫尔条纹也移动一个间距B。 θ越小，B越大，θ当小于1°以后，可使BW，即莫尔现象具有使栅距放大的作用。因此，读出莫尔条纹的数目比读光栅刻线的数目要方便得多。通过光栅栅距的位移和莫尔条纹位移的对应关系，就可以容易地测量莫尔条纹移动数，获取小于光栅栅距的微小位移量。 二、光栅式传感器 的测量电路 1．光电转换 主光栅和指示光栅作相对位移产生了莫尔条纹，莫尔条纹需要经过转换电路才能将光信号转换成电信号。光栅传感器的光电转换系统由聚光镜和光敏元件组成，如右图 (a)所示。当两块光栅作相对移动时，光敏元件上的光强随莫尔条纹移动而变化。 在a处两光栅刻线重叠，透过的光强最大，光电元件输出的电信号也最大；c处由于光被遮去一半，光