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扫描电子显微技术与X射线显微分析（Scanning electron microscopy and X-ray microanalysis) 报告人： 肖江群 扫描电子探针显微技术与X射 线显微分析 定义与历史回顾 显微分析的基本原理 几个重要的概念 仪器与装置（组图） 定性X射线显微分析 定量X射线显微分析 扫描电镜和X射线显微分析的样品制备 技术应用前景 探针微区分析的定义 所谓的电子探针分析就是利用电子轰击待研究的试样来产生X射线，根据X射线中谱线的波长和强度鉴别存在的元素并算出其浓度。 在做定性分析时用X射线谱仪在有关谱线可能出现的波长范围内把谱线纪录下来。然后对照波长表，定量分析时把试样的X射线强度与标样的对比，并作一些校正就可以算出分析点上的成分含量。 历史回顾 把特征X线用于分析化学的想法可以追溯到Moseley(1913~1914)。1920年至1930年，由于X线谱学与原子结构有关引起了一些科学家的注意，他们详细地研究了特征谱。1956年英国剑桥大学Cavendish实验室的Cosslett和Duncumb设计和制造了第一台扫描电子探针。后来在Castaing的博士论文中，他发展了物理理论，使分析人员可以把测得的X射线强度转化为化学成分。 电子探针显微分析的基本原理 一.特征X线