石墨烯氧化物湿敏特性研究.pdf

第4 1 卷 分析化学 (FENXI HUAXUE )摇 研究简报 第2 期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 2013 年2 月 Chinese Journal of Analytical Chemistry 288 ~292 DOI:10.3724/ SP.J.1096.2013.20595 石墨烯氧化物湿敏特性研究 1,2 1 1 2 * 1 陈玮 摇 雷声摇 王 沧摇 孙 浩摇 陈裕泉 1 (浙江大学生物医学工程与仪器科学学院,杭州310027 ) 2 (昆明理工大学应用技术学院,昆明650093 ) 摘摇 要摇 在声表面波谐振器件上滴定石墨烯氧化物,制成了一种基于石墨烯氧化物薄膜的声表面波湿敏检 测器件。 此器件表现出优异的湿敏传感性能,在宽湿度范围内(10% ~98% RH ),其灵敏度高达200 kHz/% RH 以上; 线性度超过0 .9; 温度系数小于0 .5% RH/毅C; 吸湿与脱湿响应速度均小于2 s 。 结果表明: 石墨烯氧 化物具有优良的湿度敏感特性,有望应用于高性能湿度传感器的开发。 关键词摇 湿度传感器; 声表面波; 石墨烯氧化物 1摇 引摇 言 湿度与人们的生产、生活密切相关,已广泛应用于气象监测、医药制造、农业生产等众多领域。 随着 信息化、互联网时代的到来,对湿度传感器各方面性能指标的要求也越来越高,不断推动湿度检测技术 的进步与发展。 近几十年来,以多孔型陶瓷与有机高分子材料为代表的湿敏材料研究一直是湿度测量 [1] 技术的研究热点 。 同时,各类检测技术也相继应用于湿度检测,包括阻抗分析、光学测量、场效应晶体 管、声表面波、石英晶体微天平;其中,声表面波技术应用于湿敏检测,综合利用敏感材料对湿度的质量 [2] 负载效应与(膜界面)声电耦合效应等,可以有效提高检测的灵敏度与精度 ,并具有成本低、易集成、封 装小等特点。 声表面波(Surface acoustic wave ,SAW )是一种在压电材料基底表面传播的机械波,对基底表面的 扰动具有强烈的敏感性,依此原理制备了声表面波传感器。 通过测量声表面波波速及衰减损耗的变化, 反映被测量的大小。 影响声表面波传播特性改变的主要因素包括:SAW 表面位移形成的质量负载效 应、SAW 引发的薄膜形变而产生的粘弹性效应、导电薄膜中导电载流子与SAW 产生的电场之间相互作 用而形成的声电效应。 这三种效应对波速的影响可用公式(1)描述如下: 驻v m f k2 滓2 æ ö 0 D =-C f 驻ç ÷+4 C 驻(hG忆)- 驻( ) (1) v m 0 A g 2 2 2 2 2