纳米高频软磁薄膜材料研究进展-中国材料进展.pdfVIP

第 卷第 期 中国材料进展 年 月 纳米高频软磁薄膜材料研究进展 王艺程 张怀武 鲁广铎 白飞明 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 四川 成都 摘 要 由于高频软磁薄膜材料具有巨大的应用前景因此获得了人们广泛的关注 对纳米合金软磁薄膜 纳米软磁颗粒膜 多层膜以及图形化薄膜进行了分类综述 分别介绍了各类薄膜的制备方法 化学成分 微观结构特点和高频物理性能 并对 影响其性能的主要因素进行了讨论 由于纳米高频软磁薄膜材料相对于传统磁性材料具有显著优势 所以纳米合金软磁薄膜 有望取代铁氧体作为制作高频磁性器件的主要应用材料 由于纳米软磁颗粒膜 多层膜以及新兴的图形化薄膜具有材料结构 设计和物性剪裁的自由度 因此将是今后的重点研究方向 关键词 高频软磁薄膜 纳米材料 磁导率 铁磁共振频率 中图分类号 文献标识码 文章编号 电阻率 和饱和磁化强度 都要大 并且还要具有适 前 言 度大小的各向异性场 而在另一个方面 现在的集 在计算机和通讯领域 随着信息处理速度和传输频 成电子器件在运行中产生的高密度 宽频谱的电磁信号 率越来越高 相关器件的性能以及支撑器件的材料性能 充满整个空间 形成复杂的电磁环境 这就要求电子设 正在经受着越来越严峻的考验 在实现了电阻 电容 备及电源在各个频段都具有很好的电磁兼容性 这就给 半导体和光电器件集成化后 如何使得软磁材料应用在 抗电磁干扰技术带来了一系列的挑战 一直以来 人们 频段并实现磁性电子器件的集成 已经成为制约电 都在找寻一种能应用于高频 超高频甚至微波频段的高 子信息技术高频化和集成化的瓶颈 其主要原因就是 性能软磁薄膜材料 以用于薄膜电感器 薄膜电磁干扰 用于电感器 变压器的磁性材料在高频时磁导率下降 抑制器 级薄膜磁场传感器以及高密度磁记录再生 研究结果表明 为了维持优良的高频特性 磁性材料的 磁头等 从 世纪 年代开始 对高频软磁材料的研究主 收稿日期 要集中在铁氧体以及坡莫合金方面 在铁氧体中 以 基金项目 科技部重大基础研究项目 中央高校 系列尖晶石铁氧体 和 基本科研业务费资助 等系列平面六角铁氧体的应用最为广泛 但是由于铁 作者简介 王艺程 男 年生 博士研究生 通讯作者 白飞明 男 年生 博士 教授 氧体的饱和磁化强度很低 而且居里点也比较低 因此 第 期