硅片的清洗与制绒 -公开课件（讲义）.pptVIP

* 硅片清洗与制绒 NaOH的作用： 中和残余酸液： H++OH-=H2O HCl+HF的作用： 进一步去除金属离子，去除硅片表面氧化层，在硅片表面形成Si-H钝化键。 多晶制绒 * 硅片清洗与制绒 效果评价及改善对策： 绒面偏小： 多晶制绒 原因:制绒时间不够； 或溶液浓度偏稀。 改善方法：适当延长制绒时间；降低制绒初配时水的比例。 * 硅片清洗与制绒 效果评价及改善对策： 绒面偏大，绒面凹凸不显著： 多晶制绒 原因：腐蚀量过大；制绒过程温度偏高。 改善方法：适当缩短制绒时间，观察制绒温度是否在设定的范围内。 * 硅片清洗与制绒 小结： 尽管多晶制绒可选方法很多，但综合成本及最终效果，当前产业所用多晶制绒工艺均为HNO3，HF，DI Water 混合液体系制绒。 多晶制绒基本要求为：绒面连续均匀；反射率低；腐蚀量适中。常见不良为绒面大小不合适，制绒后，硅片反射率高等。 多晶制绒关键点为温度的控制以及酸液配比控制。 多晶制绒 * * * 硅片清洗与制绒 绒面形成最终取决于两个因素： 腐蚀速