六章电子束和离子束加工.pptVIP

三、离子束加工的应用 ⒈ 1.离子刻蚀加工 ⒉离子镀膜加工 ⒊离子注入加工 ⒈刻蚀加工 离子刻蚀是从工件上去除材料，是一个撞击溅射过程。当离子束轰击工件，入射离子的动量传递到工件表面的原子，传递能量超过了原子间的键合力时，原子就从工件表面撞击溅射出来，达到刻蚀的目的。 ⑴加工参数控制 离子入射能量、束流大小、离子入射到工件上的角度、工作室气压等都能分别调节控制，根据不同加工需要选择参数。用氩离子轰击被加工表面时，其效率取决于离子能量、入射角度。 ⑵离子束刻蚀应用 离子刻蚀用于加工陀螺仪空气轴承和动压马达上的沟槽，分辨率高，精度、重复一致性好。 动压马达上的沟槽 ⒉镀膜加工 离子镀膜加工有溅射沉积和离子镀两种。离子镀时工件不仅接受靶材溅射来的原子，还同时受到离子的轰击，这使离子镀具有许多独特的优点。 ⒊离子注入加工 离子注入是向工件表面直接注入离子，它不受热力学限制，可以注入任何离子，且注入量可以精确控制，注入的离子是固溶在工件材料中，含量可达10％-40％，注入深度可达1um甚至更深。 电子束加工（简称EBM）和离子束加工（简称IBM）是近年来得到高速发展的新兴特种加工。这两种加工主要用于精细加工领域，尤其是微电子领域。 第六章 电子束和离子束加工 利用高功率密度的