脉冲放电射流辅助射频辉光放电研究-强激光与粒子束.pdf

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 29 6 Vol.29 No.6 年 月 , 2017 6 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jun. 2017 脉冲放电射流辅助射频辉光放电研究* , , , , 韩乾翰 郭 颖 申亚军 王晓东 石建军 ( , ) 东华大学 理学院 上海 201620 : 。 摘 要 通过实验研究了脉冲放电射流辅助下大气压氦气射频辉光放电的电学和光学特性 采用组合 , , , 电极结构 在射频放电前段增加脉冲电极 脉冲放电产生的射流以等离子体子弹形式注入射频放电区域 主要 、 、 。 研究脉冲射流辅助射频放电的电流电压曲线 最低放电维持电压 放电强度和空间结构时空分布 研究结果表 : , , 明 等离子体子弹经过射频放电区域后 由于等离子体子弹引入的活性粒子 会使射频放电区域等离子体强度 ; 。 增强 而射频放电最低维持电压也从 0.93kV降低至 0.43kV : ; ; ; 关键词 射频辉光放电 等离子体射流 放电维持电压 辅助放电 中图分类号: 文献标志码: : / O531 A doi10.11884HPLPB201729.170037 , , 、 、 近年来 大气压等离子体射流因其设备成本低廉 在材料处理 生物医学 废水处理等方面都有广泛应 [ ] 1-3 。 , 、 、 用 大气压等离子体射流可以在开放的空间产生 且具有等离子体温度低 放电装置简易 化学活性强等优 [ ] [ ] 4-6 7-12 , 。 点 因此其成为当前大气压等离子体应用研究领域热点方向之一 射频射流激发频率一般在 MHz范 [ ] [ ] 13-