原创力文档- 2
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- 2019-10-13 发布于湖北
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具有长行程的PIFOC物镜扫描仪
用于显微镜物镜的高精度定位器和扫描仪
P-725
行程达460微米
与机动化驱动器相比，具有明显更快的
响应和更长的使用寿命
亚纳米级分辨率的物镜精密定位
带电容式传感器的直接计量：高线性度
零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实
现更好的聚焦稳定性
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