专家谈中国洁净室技术发展之路.doc

专家谈中国洁净室技术发展之路 伴随着中国半导体工业、中国显示器行业飞快地进步，我们也正好是伴随着这个行业在成长，因此通过对一些项目简单地介绍，让这个技术性的发展，来对中国的洁净室和半导体行业起到作用，因为工作环境是相当高的。　从范围来讲，有宽通空调系统、洁净装修、环氧涂装、自流平、PVC地板、驾空地板、大宗气体系统、特殊气体系统、化学品、纯水，这个我们达到了18.2兆的水平，这是世界的最高水平。还有废水和其他的一些。　　这个是我们国家第一条日电电子工程生产线。月投片是8000片，那么，这两个工程是我们属于现代电子工厂建设的前期。我们把它作为一个高科技的工厂的前期。　　从洁净室来说，它是一个比较全面的，因为时间的关系，我们不能做全面的介绍，只能从空调方面来做介绍。它对于我们国家来说，也是革命性的环境的解决方案。　　这是我们典型的早期的方案，这一块的半导体工厂的人员、车间都是在这个位置。那么，上下都是新风机，那么它的工作原理是在天花顶层有一个反复的高效作用器。这上面两个是循环空调机，也可以放在上面，也可以放在侧面。通过新风机组补充新风，通过循环风机把洁净室通过地面下来的回风，通过循环风机对于冷量和湿度的调节，然后送到静压箱进行混合，然后通过顶部循环到车间里面去。这样，使我们整个的气体，跟我们大型的空调不一样。我们大型的空调可能只有几个功能，这里是所有的空气从顶层全部压下来。这是我们第一步实现的现代洁净室的原理，它达到了100级以上。　　100级是什么概念呢？举个例子，今天大家在做的环境，是我们看到的非常干净的环境，应该是多少级呢？是200万到300万级，就是每立方英尺大于5个颗粒，就是相当于3.05平方米，这么大的体积里面所拥有的超过0.5以上的微米是多少。那么，我们今天这个环境，我估计在200万到300万G。那么，这样的洁净室，达到的是100微米，就是不能超过100微米，得小于100微米。　　我们的集成电路在封装之前，它的导线我们国家保守地说是0.08微米，也有说是0.07微米。所以，三个电路产生出来的全部是这个，所以环境对于成品是非常关键的。这是达到了100级的洁净室。?BR　那么，到了90年代末期，比如说长虹等等的厂家，我们弄了一个909工程开始上马了。洁净室的建筑面积达到了1万3千平方米，净化面积是1G。那么刚才说的是100级，那么现在说的是1级。刚才我讲的0.5微米以上是100级，那么这里要求的是更高，是0.12微米。所以洁净室的技术进一步提高了。　　通过干盘管进行温度的交换，在两边从这里往上走。走到我们上面的静压箱，然后通过另外一个全新的设备，就是FFU，这是什么意思呢？就是高效空气过滤单元，通过它往下走。新风空调机在这里，我们要往上送，它从创新的角度核心上来说，就是用了FFU这个东西。　　它从工作原理上，解决了我们前面一个原理。前面一个过程是什么呢？虽然是完全从顶上压下来，我们空气洁净决定空气的气流组成形式。就是从理论上，要严格地每一个空气都垂直下来，全部地压下来。这样的话，我们的空气会相当地干净。但是，事实上做起来会非常困难。 ????? 困难作哪里？我们可以看到，它是通过外部的风机把它送上去，送进去以后在这里往下压。那么，这必然存在着一个阻力不平衡的问题，那么阻力大的地方风速就大，阻力小的地方风速就小，就不能严格地保证这个风体的垂直性。　　我们这里把整个的屋面，保证垂直的情况下，这样才能做到1级。1级是什么概念？就是1平方米只能是1微米，但是做可不能这样，因为你考虑不能按照60分考，你按照60分考，你就可能是58分。所以，你要按照70分、80分去考，所以1微米等于是没有做。　　到了这个级别我们的净化是跟FFU的物质密度有关系，那么物质密度越大，气流就越多，但是带来的问题是对于整个空气循环的量非常大。那么，我们这边通道的要求就要很宽敞，那么空气的量越大，对于空气处理的量就越大。我们空气每发生一次循环，就有一个温升，温度就要提高，所以冷却。所以，它处理的量就大了，那么这边的阻力就加大了。所以刚才前面这种方式，带来的一个问题就是，所有的空气全部要从这里翻过去。那么，整个把这里布满了，温度还处理不过来。　　这个是上海广电的洁净室，他的面积达到了5万平米。那么，它带来的问题，就是说这里有一个叫做RHU来解决问题。这个区域是我们车间，所以我们的洁净室的造价是非常昂贵的，这么大的房子里面真正用于生产的只有这么小的地方，上面的是级别高的地方有风机，级别低的地方也有风机。　　下面的室外送风机净化了室内的空气，净化排气排出了室内的空气。通过RHU这个设备，把新风送上去。这个设备既对室内温度进行了控制，又增加了送风的动力，减少了刚才谈的所带来的一个阻力比例，把这个空气循环的速度加