椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率论文.docVIP

椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率 【引言】 【实验目的】 1.了解椭偏光法测量薄膜参数的原理和实验原理。 2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。 3.测量介质薄膜样品的厚度和折射率，以及硅的消光系数和复折射率。 【实验原理】    【实验仪器】 本实验使用多功能激光椭圆偏振仪，由JJY型1￠分光计和激光椭圆偏振装置两部分组成，仪器安装调试后如图19.6所示，其各部件功能如下： 光源：包括激光管和激光电源。激光管装在激光器座上，可以作水平、高低方位角调节和上下升降调节，发射632.8nm的单色光 1.He-Ne激光管 2.小孔光闸 3.平行光管 4.起偏器 5.1/4 波片 6.被测样品 7.载物台 8.光孔盘 9.检偏器 10.塑远镜筒 11.白屏镜 ? 小孔光闸：保证激光器发出的激光束垂直照射在起偏器中心。 起偏器：产生线偏振光，读数头度盘刻有360个等分线，格值为1°，游标度数为0.1°，随度盘同步转动，其转角可在度盘上读出。 1/4波片：将线偏振光补偿为等幅椭圆偏振光，装在起偏器前端，与起偏器共用游标。其读数为读数头度盘内圈刻度值。 载物台：支承被测样品，其使用调节方法见分光计说明书。 光孔盘：为防止杂散光进入检偏器而附设，可自由转动，并具有