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基于MEMS硅基底的微型变压器 孙 超 ，肖 松 ，蔡 明，刘晓明，朱钟淦 (电子科技大学机械电子工程学院，四川 成都 611731) M icro——transformeronMEMSSilicon——based SUN Chao，XIAO Song，CAIM ing，LIU Xiao—ming，ZHU Zhong—gan (SchoolofMechatronicsEngineering，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu611731，China) 摘要 ：开展 了对硅基底 多层螺旋 电感的研 究。 0 引言 结合前人提到的提高螺旋 电感 Q值 的方法 ，提 出了 将柱形 ，E形磁 芯用于 多层螺旋 电感 ，并使用软件 随着MEMS技术的迅速发展，效率高、体积小 Maxwell对其进行仿真分析。结果表 明，矩形 多层 和质量好的螺旋电感越