2016-10-18 第9-10次课 移相干涉术.pdfVIP

移相干涉术 南京理工大学 陈磊 2016年10月18日 2015年10月21日 参考文献 1. D. Malacara. Optical Shop Testing.3rd Ed.,John Wiley Sons,Inc,2007 2. J.C. Wyant, Optics 513, Chapter 5 3. D. Malacara, Interferogram Analysis for Optical Testing, Marcel Dekker, Inc. 2005 4. [日]T.Yoshizawa. 光学计量手册——原理与应用.国防工业出版社， 2015.01 5. 钱克矛.光学干涉计量中的位相测量方法研究.中国科技大学博士论 文，2000 6. 沙定国主编. 光学测试技术(第2版). 北京理工大学出版社，2010 7. 于起峰, 陆宏伟, 刘肖琳. 基于图像的精密测量与运动测量. 北京：科 学出版社，2002.07 8. D.Robinson, G.Reid. Interferogram Analysis. IOP Publishing Ltd 1993 主要内容  概述  移相干涉原理  干涉仪的移相技术  移相算法  移相干涉术的误差源  移相器的制作与校准  移相干涉术软件  应用 1 位相的探测方法 时间位相测量法 时间移相法(Temporal) 外差法 （Heterodyne） 锁相法(Phase-Lock) 空间位相测量法 空间移相法(SPM) Fourier变换法(FTM) 空间载频移相法(SCPM) 条纹中心法 数字干涉仪的用途 光学平面，包括平面绝对检验 球面：面形 （包括绝对检验）、曲率半径 二次曲面：抛物面、椭球面、双曲面 非球面 （附加补偿器）、柱面 角度偏差：楔形镜 棱镜：直角棱镜、屋脊棱镜、角锥、五棱镜、玻 璃方砖 玻璃材料均匀性 移相式干涉仪-Zygo 2 ZYGO大口径干涉仪 Zygo φ800mm干涉仪——变波长移相技术 美国4D公司系列干涉仪 Wyko 4100 AccuFiz/Visual AccuFiz/IR@10.6um AccuFiz /Visual 300mm V- 100 3 Fisba ： 德国TriOptics公司—Phase系列 Interfire 3-5 红外干涉仪 4 国产移相式干涉仪 斐索型， 100，平面、球面，卧式 泰曼型， 80/30，平面 南京理工大学研制，2005年获国防科工委科技进步一等奖 国产移相式干涉仪 100mm，平面、球面，立式 150mm，平面，立式 南京理工大学研制，2004年获江苏省科技进步二等奖 国产数字干涉仪 激光光外差平面干涉仪 高精度大口径平面波像差标准 南京理工大学与中国计量院联合研制 南京理