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第七章 透射电子显微分析 电子光学基础 一、光学显微镜的分辨本领 分辨率是指成像物体上能清晰分辨出来的两个物 点之间最小距离。 光学显微镜的分辨率为： 光学显微镜的分辨本领取决于照明光源的波长， 而可见光的波长有限(200nm-770nm) ，因此，光学显 微镜的分辨本领极限为200nm，不能再次提高。 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光源才能解决这个问题。 1924年，德布罗意（De Brolie)计算出电子波的波长，发现其波长比可见光短十万倍。 1926年，布施(Busch)指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦。 1933年间，德国的鲁斯卡(Ruska) 等研制成功世界上第一台电子显微镜。 二、电子波的波长 显然，v越大，λ越小，电子的运动速度与电 镜中阴阳极之间的加速电压（U伏特）有关。即： ② 三、电磁透镜 电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的 力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。电 磁透镜包括静电透镜和磁透镜两种： 静电透镜 ——利用静电场（电场强度不随时 间变化的电场）产生旋转对称（轴对称)的等电位 面簇的电极装置。 磁透镜 ——产生旋转对称的非均匀磁场的磁 极装置。 ① 短线圈磁透镜（最简单的磁透镜） ② 带铁壳和极靴的磁透镜 四、电磁透镜的像差 五、电磁透镜的景深和焦长 §7.1 透射电镜的结构及应用 透射电子显微镜（ Transmission electron microscope TEM） 是用聚焦电子束作照明源，使用对电子束透明的薄膜试样，以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构的仪器。 1. 透射电子显微镜的结构 1. 透射电子显微镜的结构 1. 透射电子显微镜的结构 （1）电子光学系统 1）照明系统 组成：电子枪、聚光镜 和相应的平移和对中及 倾斜调节装置。 1. 透射电子显微镜的结构 ① 阴极：又称灯丝，一般是由0.03 ～0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 ② 阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 1. 透射电子显微镜的结构 ③ 控制栅极： 作用：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和控制栅极决定着电子发射的数目及其动 能，因此， 人们习惯上把它们通称为“电子枪”。 电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的亮度、图像稳定 度和穿透样品的能力。 聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用， 电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。 聚光镜就是为克服这种缺陷加入的。 作用：增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来。 1. 透射电子显微镜的结构 2）样品室 包括样品杆、样品杯及样品台； 样品台的作用是承载样品，并使样品能在物镜极鞋孔内作平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区或位向进行观察分析。样品杆必须使样品铜网牢固地夹持在样品台中并保持良好的热、电接触，减少因电子照射引起的热或电荷堆积而产生样品的损伤或图像漂移。 样品台有顶插式和侧插式；一般高分辨型电镜采用顶插式，分析型采用侧插式。 1. 透射电子显微镜的结构 1. 透射电子显微镜的结构 3）成像系统 由物镜、中间镜和投影镜组成。作用是放大成像。 ① 物镜： 成一次像 电镜的最关键的部分，决定透射电镜的分辨本领，要求它有尽可能高的分辨本领、足够高的放大倍数和尽可能小的像差。 通常采用强激磁，短焦距的物镜。 放大倍数较高，一般为100～300倍。 1. 透射电子显微镜的结构 ② 中间镜 成二次像。 弱激磁的长焦距变倍透镜，0～20倍可调。 ③ 投影镜 成三次像。 短焦距强磁透镜，最后一级放大像，最终显示到荧光屏上。 具有很大的场深和焦深。 1. 透射电子显微镜的结构 如果真空度不够，就会出现下列问题： 1）高压加不上去 2）成象衬度变差 3）极间放电 4）使钨丝迅速氧化，缩短寿命 （3） 供电系统 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的 高压部分，二是供给电磁透镜等的低压稳流部分。 2. 透射电镜的成像原理 样品在物镜的物平面上，物镜的像平面是中间镜的物平面，中间镜的像平面