第八章电子功能与元器件压力传感器.pptxVIP

第八章 压力传感器;主要内容;8-1-1 半导体的压阻效应;8-1-1 半导体的压阻效应;8-1-1 半导体的压阻效应;;;;;8-1-2 压阻式压力传感器的工作原理;8-1-2 压阻式压力传感器的工作原理;8-1-2 压阻式压力传感器的工作原理;知识点;8-2 压阻式压力传感器的结构与制备;主要内容;8-2-1 压阻式压力传感器的基本结构;8-2-2 硅压力膜片的应力分布;8-2-2 硅压力膜片的应力分布;8-2-3 压力传感器的制作;8-2-3 压力传感器的制作;8-2-3 压力传感器的制作;;8-2-3 压力传感器的制作;8-2-3 压力传感器的制作;知识点;8-3 压电式压力传感器的工作原理;8-3-1 压电效应;8-3-1 压电效应;8-3-1 压电效应;1-5-1 介电、压电、铁电陶瓷;1-5-1 介电、压电、铁电陶瓷;;;;压电晶体;图-6 压电元件变形方式 （a）厚度变形( TE ); (b) 长度变形( LE )； (c) 体积变形( VE )； (d)面剪切变形( FS )； (e)厚度 剪切变形( TS ) ;压电晶体;压电陶瓷; 极化处理后陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化，当陶瓷材料受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电畴发生偏转， 从而引起剩余极化强度的变化， 因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。 对Z轴方向极化的钛酸钡陶瓷，其压电常数矩阵：;; 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化， 从而使其压电特性减弱。 最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡（BaTiO3）。它的压电系数约为石英的50倍， 但居里点温度只有115℃，使用温度不超过70℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。 ;42; 在医学上，医生将压电探头放在人体的检查部位，通电后发出超声波，传到人体碰到人体的组织后产生回波，然后把这回波接收下来，显示在荧光屏上，医生便能了解人体内部状况。;在工业上，地质探测仪里有压电元件，用它可以判断地层的地质状况，查明地下矿藏。还有;电视机里的变压器，它体积变小、重量减轻，效率可达60%-80%，能耐住3万伏的高压，使电压保持稳定，完全消除了电视图象模糊变形的缺陷。现在国外生产的电视机大都采用了压电陶瓷变压器。一只15英寸的显像管，使用75毫米长的压电变压器就行了。这样就使电视机体积变小、重量减轻了。;压电陶瓷;知识点;8-4 压电式压力传感器的结构与设计;主要内容;8-4-1 压电式压力传感器的结构与特点;8-4-1 压电式压力传感器的结构与特点;8-4-1 压电式压力传感器的结构与特点;8-4-1 压电式压力传感器的结构与特点;8-4-2 压电式压力传感器的特性指标;8-4-2 压电式压力传感器的特性指标;8-4-2 压电式压力传感器的特性指标;8-4-2 压电式压力传感器的特性指标;8-4-3 压电式压力传感器设计上主要考虑;8-4-3 压电式压力传感器设计上主要考虑;8-4-3 压电式压力传感器设计上主要考虑;知识点