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实验目的 了解太阳能电池材料-多晶硅的制备方法 熟悉PEECR化学气相沉积法的基本原理 熟悉PEECR化学气相沉积设备 操作设备制备多晶硅薄膜材料 对材料进行简单测试 实验预备知识 1. 多晶硅 2. PEECR化学气相沉积法 3. 薄膜材料的制备工艺 4. 薄膜材料的测试 太阳能电池材料 实验内容 1. 操作PEECR化学气相沉积装置 2. 基片清洗 3. 多晶硅薄膜材料制备 4. 多晶硅薄膜材料的表面形貌测试 5. 简单光学性能测试 实验要求 实验操作前认真预习 实验操作前阅读仪器操作说明书 按照技术人员要求进行实验操作 实验过程中多思考多动手 认真完成相关实验和实验报告 思 考 1.气体流量对薄膜制备的影响。 2.微波等离子体增强的意义何在？ 3.材料光伏特性如何表征 * * 河南师范大学 物理与信息工程学院 应用最广泛的太阳能电池材料之一，其他还有单晶硅，二元化合物、三元化合物等 等离子体辅助可以大大降低沉积温度，提高薄膜的性能，具体工艺有待研究 太阳能种类及转换效率 PEECR化学气相沉积装置 微波发射 装置 气源1 气源1 1-气流阀 2-励磁线圈 3-等离子体发生腔 4-基片 5-观测法兰 6-基片架 *
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