电子科大薄膜物理(赵晓辉)第六章薄膜生长.pptVIP

* * 6.5.1 薄膜结构种类 1. 非晶薄膜 近程有序，远程无序 低温沉积容易实现 在常温下稳定 具有无规网状结构或随机密堆结构 XRD为漫反射峰 电子衍射为弥散光环 * 6.5 薄膜的结构 2. 多晶薄膜 由尺寸不等的晶粒组成 晶粒之间不具有固定取向关系 不同晶粒之间有晶界 晶界处原子能量较高，排列不规则 杂质原子易沿晶界扩散 多晶XRD衍射图谱与粉末衍射类似 * 3. 织构薄膜 晶粒之间有固定取向关系 有单轴和双轴取向 不同晶粒之间有晶界 晶界处原子能量较高，排列不规则 杂质原子易沿晶界扩散 * 4. 外延薄膜 晶粒之间有严格的取向关系 不同晶粒之间可能有晶界 晶界处原子排列比较规则 要求薄膜材料晶格与基体相配 * 6.5.2 外延生长 ? 1.? 简介 ???(epi – 放在…上) ?????(有序排列) - 扩展： 在单晶基板上生长的单晶薄膜 - 同质外延 : 薄膜和基板材料相同。 无缺陷 比基板纯度更高 薄膜层可不受基板影响，独立掺杂 * - 异质外延：薄膜与基板材料不同。 Si on Insulation (SOI) : 3-D IC 选择性取向生长 层状生长 多层异质结化合物：超晶格，量子阱 GaAs/AlGaAs InGaAs/GaAs dislocation * * 2. 外延薄膜的结