光电测试技术-第5章 激光干涉测试技术(3／6).pptVIP

第5章 激光干涉测试技术 光电测试技术  哈尔滨工业大学 第5章 激光干涉测试技术 §5-3 波面剪切干涉测试技术 * * §5-3 波面剪切干涉测试技术 波面剪切干涉是利用待测波面自身的干涉。 剪切干涉仪属于等程（共程）干涉： 对光源无特殊要求，容易得到对比度高的剪切干涉图； 剪切干涉仪无需参考光束，干涉条纹稳定； 对环境要求低； 大部分剪切干涉仪不受口径的限制，从原理讲可以检验任意尺寸的镜面或系统，加上一定的辅助元件可使检验范围十分广泛； 剪切干涉仪结构简单加工、制造容易、成本低廉、携带方便。 理论上剪切干涉测试技术可以从单幅干涉图中得到光波面的相关信息。 * * §5-3 波面剪切干涉测试技术 剪切干涉技术在光学零件面形检测、光学系统像差测量、激光输出波前实时测试、液晶电视的位相调制特性研究、气体和液体中的流动、扩散等现象研究等领域获得了广泛的应用。 剪切干涉是一种共光路干涉技术，不用标准参考光束，而参与干涉的光束均来自被测光束，因而其干涉条纹与被测波面的关系比较复杂，求解被测波面在数学处理上比较繁琐，发展利用计算机处理剪切干涉图技术成为剪切干涉测试技术发展的热点。 * * §5-3 波面剪切干涉测试技术 3.1 波面剪切干涉技术基本原理 所谓波面剪切干涉技术，就是通过某种装置将一个空间波面分裂为两个完全相同或相似的波面，两者彼此间产生一个小的空间位移，因为