抛光表面的亚表层损伤检测方法研究.pdf

第 卷第 期 光 子 学 报 ４２ ２ 　 　 　 Ｖｏｌ．４２Ｎｏ．２ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１３ ２ Ｆｅｂｒｕａｒ２０１３ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０２１４ ｇ 抛光表面的亚表层损伤检测方法研究 田爱玲，王会婷，党娟娟，王春慧 （西安工业大学 光电工程学院 陕西省薄膜与光学检测重点实验室，西安 ７１００３２） 摘 要：光学元件磨削加工引入的亚表面损伤威胁着光学元件的使用性能及寿命，成为现阶段高能激 　 光发