原创力文档周明宝林大键中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都郭容郭永康四川联合大学物理系成都
7 3 Vo l. 7 , N o. 3
1999 6 OPT ICS A ND PRECISIO N EN G IN EER IN G J une, 1999
周明宝 林大键
( 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都6 10209)
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