传感与感测技术PPT教案课件-第五章 光电传感器.ppt

1 透射式光栅传感器 上一页 下一页 返 回 ?此光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。 特点：结构简单，位置紧凑，调整使用方便，应用广泛。 2. 反射式光栅传感器 上一页 下一页 返 回 该光路适用于黑白反射光栅。 光源发射的光，经聚光镜和物镜后形成平行光束，以一定的角度穿过指示光栅、射向主光栅。这里的主光栅不形成透射光。照射到主光栅上的光产生反射光后与指示光栅形成莫尔条纹，此莫尔条纹光再经反射镜反射、物镜组聚焦后投射到光电元件上，以实现位移的测量。 5.2.3 辨向原理 单个光电元件接收一固定点的莫尔条纹信号，只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方向，因而就不能判别运动零件的运动方向，以致不能正确测量位移。 如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲数累加，而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减去反向移动的脉冲数，这样就能得到正确的测量结果。 上一页 下一页 返 回 辨向光路设置 在相距的位置上设置两个光电元件1和2， 以得到两个相位互差90°的正弦信号，再以这两个正弦信号为输入接入辩向电路。 上一页 下一页 返 回 辨向电路 正向移动时脉冲数累加，反向移动时，便从累加的脉冲数中 减去反向移动所得到的脉冲数，这样光栅传感器就可辨向。 上一页 下一页 返 回 4. 细分技术 提高分辨力方法： 在选择合适的光栅栅距的前提下，以对栅距进行测微，电子学中称“细分”，来得到所需的最小读数值。 细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲，以减小辨向电路输出脉冲间隔，提高分辨力。 上一页 下一页 返 回 5.3 固态图像传感器 定义：指在同一半导体衬底上生成若干个光敏单元与移位寄存器构成一体的集成光电器件，其功能是把按空间分布的光强信息转换成按时序串行输出的电信号。 优点：体积小、重量轻、耗电少、耐振动、抗电磁干扰、坚固耐用 缺点：分辨率不高，图像质量还赶不上摄像管。 固态图像传感器的敏感元件有多种类型，日前应用最广泛的是电耦合器件(CCD)，它是一个硅光敏半导体器件，由MOS光敏元件阵列和读出移位寄存器组成。 上一页 下一页 返 回 5.3 固态图像传感器 5.3.1 CCD基本结构 5.3.2 CCD工作原理 5.3.3 CCD图像传感器的结构 5.3.4 图像传感器的应用 上一页 下一页 返 回 5.3.1 CCD基本结构 CCD是一种半导体器件 MOS电容的结构 1．金属 2．绝缘层SiO2 上一页 下一页 返 回 上一页 下一页 返 回 CCD是由按一定规律排列的MOS阵列组成。CCD的最小单元是在P型（或N型）硅衬底上生长一层厚度约为120nm的SiO2，再在SiO2层上依次沉积铝电极而构成MOS的电容式转移器。将MOS阵列加上输入、输出端，便构成了CCD。 当向SiO2表面的电极加正偏压时，P型硅衬底中形成耗尽区（势阱），耗尽区的深度随正偏压升高而加大。其中的少数载流子（电子）被吸收到最高正偏压电极下的区域内，形成电荷包（势阱）。对于N型硅衬底的CCD器件，电极加正偏压时，少数载流子为空穴。 CCD电荷的产生方式： 电压信号注入 CCD在用作信号处理或存储器件时，电荷输入采用电注入。 CCD通过输入结构对信号电压或电流进行采样，将信号电压或电流转换为信号电荷。 光信号注入 CCD在用作图像传感时，信号电荷由光生载流子得到，即光注入 。电极下收集的电荷大小取决于照射光的强度和照射时间。 在没有外界电荷注入时，CCD各单元势阱可看成空阱。 当有光照时，光生电子在正偏压下迅速注入势阱。光照越强，注入的光生电子就越多，此时势阱中的光生电子数反映光照强度，故称势阱中的电荷为光照强度信号电荷。由于CCD的MOS单元密集，众多单元势阱收集的信号电荷数，可以反映一幅空间的光图像。 上一页 下一页 返 回 5.3.2 CCD工作原理 信号电荷转移 CCD的基本功能是存储与转移信息电荷 为实现信号电荷的转换： 1、必须使MOS电容阵列的排列足够紧密，以致相邻MOS电容的势阱相互沟通，即相互耦合。 2、控制相邻MOS电容栅极电压高低来调节势阱深浅，使信号电荷由势阱浅的地方流向势阱深处。 3、在CCD中电荷的转移必须按照确定的方向。 上一页 下一页 返 回 定向转移的实现 在CCD的MOS阵列上划分成以几个相邻MOS电荷为一单元的无限循环结构。每一单元称为一位，将每—位中对应位置上的电容栅极分别连到各自共同电极上，此共同电极称相线。 一位CCD中含的电容个数即为CCD的相数。每相