光加热金属有机物化学气相淀积生长氮化镓.pdfVIP

　第 20 卷第 2 期　　　　　　　　半　导　体　学　报　　　　　　　　 . 20, . 2　 V o l N o 　1999 年 2 月　　　　　　CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S　　　　　　Feb. , 1999　 光加热金属有机物化学气 相淀积生长氮化镓 周玉刚　沈　波　陈志忠　陈　鹏　张　荣　施　毅　郑有　 (南京大学物理系　固体微结构国家重点实验室　南京　210093) 摘要　 我们用光加热低压金属有机物化学气相淀积方法在 衬底上成功地外延生长出 A l O