玻璃的表面与界面.ppt

在溅射过程中,由阴极发射出来的电子在电场的作用下具有向阳极运动的趋势。但是,在垂直磁场的作用下,它的运动轨迹被其弯曲而重新返回靶面,就如同在电子束蒸发装置中电子束被磁场折向盛有被蒸发物质的坩埚一样。 目前,磁控溅射是应用最广泛的一种溅射沉积方法,其主要原因是这种方法的沉积速率可以比其他溅射方法高出一个数量级。这一方面要归结于在磁场中 电子的电离效率提高、另一方面还因为在较低气压下溅射原子被散射的概率减低。另外,由于磁场有效地提高了电子与气体分子的碰撞几率、因而工作气压可以显著降低,即可由1Pa降低至10-1 Pa。这一方面降低了薄膜污染的倾向,另一方面也将提高入射到衬底表面原子的能量,因而将可以在很大程度上改善薄膜的质量。 2镀膜玻璃的应用 (1)自洁净玻璃 ①超亲水自洁净玻璃 ②超疏水自洁净玻璃 方法: 化学气相沉积 磁控溅射 溶胶凝胶法 太阳能电池 图中,正电荷表示硅原子,负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。 当硅晶体中掺入其他的杂质,如硼、磷等,当掺入硼时,硅晶体中就会存在着一个空穴,它的形成可以参照下图: 图中,正电荷表示硅原子,负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。而黄色的表示掺入的硼原子,因为硼原子周围只有3个电子,所以就会产生入图

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档