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Ticer埋阻材料测试结果汇总 SME PD: 刘涌，时睿智 SMST RD:罗永红，宗泽源 Update：2015-2-3 目录 方阻率测试板第一次SES后电阻值和尺寸测量结果 方阻率测试板棕化后电阻值测量结果 ESD测试板SES后电阻值和尺寸测量结果 方阻率测试板层压后电阻值测量结果 ESD测试板方阻率随电阻设计变化趋势增补实验 方阻率测试板过热冲击后电阻值测量结果 ESD测试板阻焊前处理后电阻值测量结果 ESD测试板电测试结果相对阻焊前处理后电阻值该变量 ESD初步测试结果 ESD测试板电阻制程能力和分布 ESD测试结果 方阻率测试板第一次SES后电阻值和尺寸测量结果 2014-12-18 实验目的 测量Ticer埋阻材料方阻率稳定性。 测试项目 方阻大小为0.5、1、5cm，测量埋阻材料在经过SES一遍/两遍后的阻值以及长/宽、经过棕化后的阻值以及长/宽、经过层压后阻值、经过热冲击后阻值。 测试图形 背景 方阻率测试Panel：因铜箔较小，舍弃两边各一列Unit，Unit编号如左图所示 当前状态 4块方阻率测试板，两块进行了第一次SES，两块只进行了一次铜箔蚀刻留用。测 试了两块进行SES板的阻值和电阻尺寸。 测试设备 电阻值：日置HIOKI 3541电阻计 尺寸：三维测量仪 实验结果 编号 电阻值（Ω） 尺寸（mm） 方阻率（