《柔性铰链工作台测量与控制》【毕业设计论文】.docVIP

TOC \o 1-3 \h \z \u 第一章 绪论 5 1.1 国内外现状和发展趋势 5 1.2 柔性铰链研究意义 8 1.3 毕业设计任务 第二章 柔性铰链微动工作台测量与控制系统的总体设计 9 2.1 总体方案设计 2.2 柔性铰链单元工作原理 9 2.3 平行四杆微动工作台设计与分析 10 第三章 微动工作台测量系统设计 12 第四章 微动工作台控制系统设计 14 4.1传感器基本工作原理 14 4.2传感器转换电路 17 4.3 MCS-51单片机 19 4.4 18位AD7674 20 4.5 18位DAC9881 22 4.6 PID控制器 25 4.7 功率运算放大电路 28 4.8 压电陶瓷驱动器 29 31 5.1 主程序 31 5.2 A/D转换子程序 32 5.3 矩阵键盘输入子程序 34 5.4 显示子程序 35 5.5 数据运算子程序 36 5.6 D/A转换子程序 36 第五章 总结与展望 37 参考文献 38 致谢 39 摘 要 柔性铰链以其无摩擦、无间隙、运动灵活、敏度高的优点，在各个领域得到广泛应用，尤其在纳米技术领域中有着广泛的应用前景，柔性铰链是实现纳米级微运动的关键技术，