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第37卷第1期 压电与声光 第37卷第1期 压电与声光 V01．37 No．1 2015年02月 PIEZoELECTRICSACoUSTOoPTICS Feb．2015 文章编号：1004—2474(2015)01一0059一05 一种应用于压电陶瓷驱动器的高精度基准源 贺 炜，冯全源 (西南交通大学微电子研究所，四川成都610031) 摘 要：介绍了一种电压控制型压电陶瓷驱动器的工作原理，基于oKI(0KI Elect ric lndustry co．)o．5弘m BicMos(Bipolar CM0s)工艺，设计了一个用于该驱动器的高电源抑制比、低温漂的带隙电压基准源。采用自基准 LDo为基准源提供伪电源电压，进一步提高电路的电源抑制比。引入改进后的分段线性电流补偿技术对基准进行 曲率校正，提高了温度补偿的灵活性和精确度。HSPICE仿真结果表明，在一40～+150℃范围内，基准电压的温 度系数为2．3×10_6／℃，低频时电路电源抑制比为一174 dB。 关键词：压电陶瓷驱动器；带隙基准；分段线性补偿；伪电源；低温度系数 中图分类号：TN433 文献标识码：A A High—Precision Reference for Piezoelectric Ceramic Actuator HE Wei，FENG Quanyuan (Institute of Microel