微细加工和纳米技术.docxVIP

微细加工和纳米技术 微细机械加工和电加工技术 微细加工的机床结构 它应满足下列功能: 1） 为达到很小的单位去除率（UR）,需要各轴能实现足够小的微量移动，对于微细的机械加工和电加工工 艺，微量移动应可小至儿十个纳米，电加工的UR最小极限取决于脉冲放电的能量。 2） 高灵敏的伺服进给系统，它要求低摩擦的传动系统和导轨主承系统以及高精度跟踪性能的伺服系。 3） 高平稳性的进给运动，尽量减少由于制造和装配误差引起的各轴的运动误差。 4） 高的定位粘度和垂复定位精度。 5） 低热变形结构设计。 6） 丿J貝的稳固夹持和高的亜复夹持精度。 7） 髙的主轴转速及极低的动不平衡。 8） 稳固的床身构件并隔绝外界的振动干扰。 9） 具有刀具破损和微型钻头折断的领感的监控系统。 图1为口本FANUC公司开发的能进行车、铳、摩和电火花加工的多功能微型超精密加工机床的结构示意图。 该机床有X、Z、C、B四轴，在B轴冋转工作台上增加A轴工作台后可实现5轴控制，数控系统的最小设 定单位为1nmo 转工作白工件 图1微型超辅畫加工机床 （FANUC ROBO nano Ui 型） 该机床既有编码器半闭环损制，还有激光全息式直线移动的全闭环控制。反馈指令的大小直接影响到伺服跟 踪误差，编码器与电机直联具有每周6400万个脉冲的分辨率，每个脉冲相当于处标轴移动0.2nm0编码器 反馈单位为1 /3nm,故跟踪误