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行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 飛秒雷射內部微加工暨其應用 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-011-135- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年07月31日 執 行 單 位 ：國立臺灣科技大學機械工程系 計 畫 主 持 人 ： 鄧昭瑞 共 同 主 持 人 ： 李三良 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：彭鉦閎 碩士班研究生-兼任助理人員：許育豪 碩士班研究生-兼任助理人員：高文雄 博士班研究生-兼任助理人員：謝志華 處 理 方 式 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，1年後可公開查詢 中 華 民 國 100 年 09月 22 日 ▓ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 飛秒雷射內部微加工暨其應用 計畫類別： ▓個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號： NSC 99-2221-E-011-135 執行期間： 99 年 08月 01日至 100 年07月 31日 計畫主持人：鄧昭瑞 教授 協同計畫主持人：李三良 教授 計畫參與人員：謝志華 、許育豪 、高文雄、彭鉦閎 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交 ) ：□精簡報告 ▓完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、列 管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 ▓涉及專利或其他智慧財產權，□一年▓二年後可公開查詢 執行單位：國立台灣科技大學機械系 中 華 民 國 一百 年 七月 三十一日 目 錄 1.中英文摘要 …………………………………………………..……….III 2. 前言 與研究目的 …………………………………..…………………..1 3.各年研究方法 與結果討論……………………………………………3 4. 結論…………………………………………………………………..31 5. 參考文獻與附錄 ……………………………………………………..32 II 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 飛秒雷射內部微加工暨其應用 計畫編號： NSC 99-2221-E-011-135 執行期限：99 年8月 1日至 100 年7月 31日 主持人：鄧昭瑞 教授 國立台灣科技 大學 E-Mail: grtang@.tw 一、中文摘要 近年來微奈米尺度精密加工技術需求逐漸提升，雷射於許多高科技產業上都可見其應用， 包括低溫多晶矽、太陽能電池、 LCD面板切割等，成為精密加工不可或缺的一環。有別一般 長脈衝雷射(Long pulse laser) ，飛秒雷射具有超短脈衝(Ultra-short pu