史上最全管式PECVD介绍学习的好资料(深圳捷佳公司).pdfVIP

深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 型号:PD‐305A 1.程序界面划分介绍 2.系统设置功能介绍 3.手动控制功能介绍 4.工艺编辑操作说明 5.设备报警处理方法 控制程序显示界面可分4个功能区： 1.标题栏：显示该设备型号;当前时间;退出按钮;红色 ,黄色,绿色三种警灯信息;八种操作模式切 换按钮 2.主视窗:显示某个模式状态下的操作界面 3.编辑窗:0.1—10000各数量级的整数供编辑数据使用 4.设备状态窗:该窗口时时显示设备的各项数据和工艺 状态 见下页界面 标题栏 主视窗 编辑窗 设备状态栏 1:快捷方式